Neubau soll Ende 2024 bezugsbereit sein: Hochpräzise Mikrooptiken aus der sächsischen Fab in Halbleiter-Industrie gefragt

Dresden, 16. April 2024. Die neue Mikrooptiken-Fabrik von „Jenoptik“ in Dresden wird teurer als gedacht, der Baufortschritt liegt aber zumindest im Zeitplan. Das hat Standort-Leiter Andreas Morak während eines Besuchs durch den sächsischen Wirtschaftsminister Martin Dulig (SPD) mitgeteilt. Jenoptik will bereits Ende 2024 mit dem Umzug von seinem Alt-Standort an der Maria-Reiche-Straße ins wachsende Fab-Areal an der Wilschdorfer Landstraße umziehen. Produktionsstart in der neuen Jenoptik-Fab soll Anfang 2025 sein, die Belegschaft wird sich dort auf 120 Beschäftigte verdoppeln.

Jenoptik investiert 90 Millionen Euro in Dresden

Ursprünglich wollte Jenoptik rund 70 Millionen Euro in das neue Mikrooptik-Werk Dresden investieren. Mittlerweile ist in einer Mitteilung des sächsischen Wirtschaftsministeriums von 90 Millionen die Rede – anscheinend inklusive einiger Spezialausrüstungen wie Elektronenstrahl-Kanonen gerechnet. Verantwortlich für die Teuerung dürften die generellen Kostensteigerungen und speziell auch die höheren Ausgaben im Bausektor sein. Jenoptik hat zwar bereits eine Fertigungsstätte: Im Areal des ehemaligen DDR-Zentrums für Mikroelektronik (ZMD) hat das Jenaer Technologie-Unternehmen 2007 eine Reinraum-Manufaktur eingerichtet.

Mikrooptiken für EUV-Belichter

Dort erzeugen rund 60 Mikrotechnologen, ehemalige Uhrmacher und andere Spezialisten besondere und teils geheime Sensoren und Mikrooptiken. Dabei handelt es sich nicht um klassische Linsensysteme, sondern beispielsweise um gläserne Beugungs-Strukturen, die Jenoptik sehr präzise mit Elektronstrahl-Schreibern erzeugt und dann mikrometergenau in Baugruppen montiert und ausgemessen. Dabei sei viel „händische Arbeit“ im Spiel, verrät Andreas Morak. Wofür genau diese Mikrooptiken gebraucht werden, wollen die Jenoptik-Manager nicht verraten. Anscheinend handelt es sich aber unter anderem um Positionierungssysteme für Chipmasken und Komponenten für sündhafte teure Lithografie-Anlagen, die nanometer-feine Chipstrukturen der neuesten Generation mit Hilfe von „Extrem-Ultraviolett-Licht“ (EUV) erzeugen. Solche Anlagen kann bisher nur der niederländische Tech-Konzern ASML in Serie herstellen.

Reinraum-Manufaktur in ehemaligen ZMD-Gebäuden an Wachstumsgrenze gestoßen

Die Nachfrage für die Mikrooptiken von Jenoptik ist wohl auch wegen dieser Alleinstellungsmerkmale groß. Im alten Reinraum in Dresden-Klotzsche kann das Unternehmen nicht mehr anbauen. Daher entschied sich Jenoptik für den Neubau an der Wilschdorfer Landstraße – in Sichtweite zur Bosch-Chipfabrik, zum Chipmaskenzentrum AMTC, zum Fraunhofer-Elektronikzentrum Ceasax und zur Baustelle der geplanten TSMC-Megafab. Auch bis zu Globalfoundries und zum Flughafen ist es von dort nur ein Katzensprung.

Fab lässt sich bei Bedarf verdoppeln

Konzipiert ist das Werk als vergleichsweise umweltfreundliche Manufaktur mit Solardach, begrünten Fassaden, Fahrrad-Infrastrukturen und dergleichen mehr. Der 2000 Quadratmeter große Reinraum wird schwingungs-entkoppelt auf der unterirdischen Lausitzer Granitplatte verankert. Zudem hat Jenoptik sich genug Platz gesichert, um die Fabrik bei weiter wachsender Mikrooptik-Nachfrage spiegeln zu können. Dadurch könnte das Unternehmen seine Kapazitäten in Dresden dann noch einmal verdoppeln.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: Jenoptik, Oiger-Archiv, Wikipedia, Silicon Saxony

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