Elektronenstrahl-Anlage von Vistec. Eine ähnliche, aber modernere Anlagen liefern die Jenaer an die neue Jenoptik-Fab in Dresden. Foto: Vistec (Pressefoto)
Ehemalige Schwester Vistec aus Jena liefert die Anlage für zweistelligen Millionenbetrag
Dresden/Jena, 10. Januar 2024. Jenoptik schafft für über zehn Millionen Euro eine moderne Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage für sein neues Mikrooptik-Werk in Dresden an. Das hat das Jenaer Technologie-Unternehmen heute angekündigt. Den genauen Preis bezifferte Jenoptik nicht, die Rede ist von einem „niedrigen zweistelligen Millionenbetrag“.
Für feine Strukturen bis zu 10 Nanometer geeignet
Mit dem Elektronenstrahl-Belichter der Jenaer Firma „Vistec“ lassen sich besonders feine Strukturen bis hinunter zu zehn Nanometern (Millionstel Millimeter) erzeugen. Dies ist zwar auch mit Extrem-Ultraviolett-Anlagen (EUV) von ASML aus den Niederlanden möglich. Die sind aber mehr mal als zehnmal so teuer. Allerdings arbeiten Elektronenstrahl-Systeme weit langsamer als EUV-Belichter, eignen sich daher eher für kleine Serien, Chipmasken und Sonderanfertigungen. Geht es anderseits um weniger genaue Strukturen, lässt sich der Elektronenstrahl in der Vistec-Anlage auch auffächern, um größere Flächen zu bearbeiten. Auch beherrscht die Anlage die sogenannte Zellprojektion.
Für Mikrooptik-Produktion vorgesehen
Mit den Elektronenstrahlern wolle man in Dresden zukünftig „hochpräzise mikrooptische Komponenten für Kunden aus dem Halbleiterbereich und der optischen Kommunikation herstellen“, hieß es von den Jenaern. Der Hersteller wolle die neue Lithografie-Anlage Anfang 2025 liefern.
Neue Fabrik soll insgesamt 70 Millionen Euro kosten
Jenoptik stellt seit 2007 in Dresden Mikrooptiken her, insbesondere für die sächsische Halbleiter-Industrie. Bisher ist die Produktion allerdings über mehrere kleine Standorte im Stadtgebiet verstreut. Daher baut das Unternehmen derzeit in der Nähe der Bosch-Chipfabrik im Dresdner Norden für 70 Millionen Euro eine neue, größere Fabrik. Sie soll 2000 Quadratmeter Reinraum umfassen und 120 Menschen beschäftigen.
Beide Unternehmen wurzelten im Kombinat Carl Zeiss Jena
Übrigens haben Hersteller und Kunde bei diesem konkreten Geschäft die gleichen Wurzeln: Sowohl Jenoptik wie auch Vistec gehen auf das Kombinat Carl Zeiss Jena zurück, das ab den frühen 1970ern die ersten kommerziellen Elektronenstrahl-Belichter unter dem Namen „Zeiss-Belichtung-Anlage (ZBA) verkaufte. Jenoptik beschäftigt insgesamt 4400 Menschen, bei Vistec sind es 110 Leute.
Autor: hw
Quellen: Vistec, Jenoptik, Oiger-Archiv, Wikipedia
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