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Elektronenstrahl-Anlage von Vistec - eine ähnliche, aber modernene Anlage installiert das Unternehmen bei Jenoptik Dresden. Foto: Vistec (Pressefoto)

Jenoptik setzt in Dresdner Mikrooptik-Fab auf Elektronenstrahl-Belichter

Ehemalige Schwester Vistec aus Jena liefert die Anlage für zweistelligen Millionenbetrag Dresden/Jena, 10. Januar 2024. Jenoptik schafft für über zehn Millionen Euro eine moderne Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage für sein neues Mikrooptik-Werk in Dresden an. Das hat das Jenaer Technologie-Unternehmen heute angekündigt. Den genauen Preis bezifferte Jenoptik nicht, die Rede ist von einem „niedrigen zweistelligen Millionenbetrag“.

Teilchenstrahl statt Maske: Dresdner forschen an Chips vom Elektronenstrahl

Dresden/Grenoble, 9.2.2012: Obzwar bisher immer wieder hinausgeschoben, nähert sich die Chipindustrie doch immer mehr den physikalischen Grenzen herkömmlicher Struktur-Erzeugungstechniken. Das Dresdner Nanoelektronik-Forschungszentrum CNT der Fraunhofer-Gesellschaft und die französische Softwarefirma „ASELTA Nanographics“ aus Grenoble haben daher nun ein Forschungsprojekt vereinbart, um die direkte Erzeugung von Nanoelektronik durch Elektronenstrahlen im Industriemaßstab auszuloten.