Alle Artikel mit dem Schlagwort: EUV

Die führenden Chipwerk-Ausrüster rechnen mit guter Auftragslage. Hier im Foto ist eine EUV-Demo-Anlage des niederländischen Ausrüsters ASML zu sehen. Dabei handelt es sich um eine noch junge Technik, bei der Chipstrukturen mit weichem Röntgenlicht erzeugt werden. Foto: ASML

Chipausrüster ASML mit 30 Prozent mehr Umsatz

Weltweiter Subventionswettlauf fördert Geschäfte des niederländischen Tech-Champions Veldhoven, 24. Januar 2024. Die ambitionierten Mikroelektronik-Industrieprojekte in den USA, Korea, Deutschland und weiteren Staaten machen sich in den Geschäftszahlen von ASML positiv bemerkbar – trotz des US-Wirtschaftskrieges gegen China: Der niederländische Chipfabrik-Ausrüster hat im Jahr 2023 insgesamt 27,6 Milliarden Euro umgesetzt und damit rund 30 Prozent mehr als im Vorjahr. Das Nettoeinkommen kletterte um 39 Prozent auf etwa 7,8 Milliarden Euro. Das hat ASML heute an seinem Hauptsitz in Eindhoven mitgeteilt. Für das Jahr 2024 rechnet der Konzern mit ähnlichen Umsätzen.

Dmitry Suyatin (von rechts nach links), Jonas Sundqvist, Yoana Ilarionova, Reza Jafari Jam und ein weiterer Mitarbeiter von Alixlabs freuen sich. Foto: Alixlabs

Millionen-Infusion für Halbleiterfirma Alixlabs

Schweden wollen in Sachsen neue Chipfertigungstechnologie zur Marktreife führen Lund/Dresden, 6. September 2023. Die schwedisch-sächsische Halbleiterfirma „Alixlabs“ um Jonas Sundqvist hat 40 Millionen Schwedische Kronen (rund 3,36 Millionen Euro) von der Wallenberg-Familie und weiteren Investoren bekommen. Das hat das Unternehmen nun mitgeteilt. Mit dem Geld wollen er und sein Team eine neue Mikroelektronik-Fertigungsmethode zur Marktreife führen.

Blick in einen Reinraum, in dem ASML-Mitarbeiter eine EUV-Anlage kontrollieren. Foto: Ben Winters/Renee d'Hooge für ASML

Chipwerk-Ausrüster ASML wächst

Umsatz legt durch starke Nachfrage aus Halbleiterindustrie auf 21 Milliarden Euro zu Veldhoven, 15. Februar 2023. ASML hat seine Umsätze im Jahr 2022 um 13,8 Prozent auf 21,2 Milliarden Euro gesteigert. In diesem Zuge sind auch 7130 neue Jobs entstanden. Das hat der niederländische Chipwerk-Ausrüster aus Veldhoven heute mitgeteilt. Die Geschäftsergebnisse hätten sogar noch besser ausfallen können, wenn nicht die Corona-Nachwehen, der Krieg in der Ukraine und Lieferketten-Störungen dazwischengefunkt hätten, schätzte ASML-Chef Peter Wennink ein.

Dr. Dmitry Suyatin, Dr. Amin Karimi und Dr. Reza Jafari Jam von "Alixlabs" im Nanolab-Reinraum der Uni Lund. Foto: Alixlabs / Uni lund

Schweden ätzen in Sachsen den Weg zu Nanochips frei

Alixlabs Lund will bei Fraunhofer Dresden eine Alternative zur teuren EUV-Belichtungstechnik fabrikreif machen Dresden/Lund, 2. Dezember 2022. Die schwedische Uni-Ausgründung „Alixlabs“ aus Lund will in Sachsen ein neues Ätzverfahren zur Fabrikreife führen. Das soll die Produktion von Nanoelektronik der neuesten Generation deutlich preiswerter möglich machen als bisher kalkuliert. Laut Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist lassen sich damit auch ohne sündhaft teure Extremultraviolett-Belichter (EUV) besonders feine Chipstrukturen von weniger als zehn Nanometern erzeugen.

Das AMTC Dresden ist auf Chipmasken spezialisiert. Foto: AMTC

AMTC hat 800 Millionen in Dresden investiert

Neue Jobs im Maskenzentrum geplant Dresden, 21. Mai 2022. Angesichts der starken Mikroelektronik-Nachfrage weltweit stockt das Dresdner Chipmasken-Zentrum AMTC seine Belegschaft weiter auf. Außerdem entwickelt das Zentrum derzeit bessere Belichtungsvorlagen, mit denen sich Schaltkreise mit Strukturbreiten von nur noch wenigen Nanometern (Millionstel Millimetern = nm) herstellen lassen. Das hat das Unternehmen aus Anlass seines 20-jährigen Jubiläum mitgeteilt. „Das AMTC ist auf Wachstumskurs“, hieß es aus dem Chipmasken-Zentrum.

Umsatzrekord für Jenoptik

Starke Chipnachfrage sorgt auch bei Halbleiterausrüstern für viele Aufträge Jena/Dresden, 9. Februar 2022. „Jenoptik“ hat im vergangenen Jahr einen neuen Umsatzrekord erzielt: Die Umsätze stiegen um rund ein Fünftel auf 895 Millionen Euro, teilte der Optikkonzern heute in Jena mit. Herausragend sei unter anderem „die anhaltend hohe Nachfrage aus der Halbleiter-Ausrüstungsindustrie“ für die Optiksysteme des Unternehmens gewesen. Auch die Nachfrage für Medizintechnik war ein Wachstumstreiber.

Gerd Teepe. Foto: Heiko Weckbrodt

Halbleiter-Engpass und Tesla-Schock bergen Chancen für Mikroelektronik in Sachsen

Mikroelektronik-Experte Gerd Teepe warnt vor drohenden chronischen Wettbewerbnachteilen für deutsche Industrie Dresden, 14. Oktober 2021. Deutschland muss unbedingt seine Mikroelektronik-Kapazitäten ausbauen und technologisch verbessern – andernfalls drohen vielen Leitindustrien in Zukunft chronische Wettbewerbsnachteile im Vergleich zur Konkurrenz in Asien und den USA. Das hat der Halbleiter-Experte Gerd Teepe in Dresden gefordert. „Keiner kann wollen, dass die deutsche Automobilindustrie und andere Branche in Zukunft die Chips der Spitzenklasse nur noch mit ein bis zwei Jahren Verzögerung bekommen.“

"Alix Labs" erzeugt mit dem APS-Verfahren Nanostrukturen. Foto: Alix Labs

Alixlabs sammelt 9 Millionen Kronen Risikokapital ein

Schwedische Mikroelektronik-Firma testet ihre APS-Halbleitertechnologie in Sachsen Lund/Dresden/Bannewitz, 28. September 2021. Um eine neuartige und vor allem preiswerte Herstellungsmethode für Highend-Chips weiterzuentwickeln, bekommt das junge schwedische Technologieunternehmen „Alixlabs“ aus Lund nun neun Millionen Schwedische Kronen (zirka 883.000 Euro) von Risikokapitalgebern. Beteiligt sind Almi Invest sowie private Investoren wie die Sport-Profis Michael, Alexander und William Nylander. Mit dem Geld wollen die Schweden ihre „Atomic Layer Etch Pitchsplitting“ (APS) genannte Fertigungstechnologie verbessern und in Bannewitz in Sachsen testen. Das hat Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist mitgeteilt, der ähnlich wie viele seiner Mitstreiter eng mit dem Mikroelektronik-Standort Dresden vernetzt ist.

Blick in einen Mikrooptik-Reinraum von Jenoptik. Foto: Jenoptik

Jenoptik steckt 70 Millionen in neue Fabrik in Dresden

60 neue Jobs angekündigt Dresden/Jena, 16. September 2021. Jenoptik will rund 70 Millionen Euro in den Aufbau seiner geplanten neuen Fabrik in Dresden investieren. Dadurch sollen sich die Produktionskapazitäten in der sächsischen Landeshauptstadt verdoppeln. Auch die Belegschaft werde sich dadurch mehr als verdoppeln – um 60 auf dann 110 Mitarbeiter in Dresden. Das hat das Jenaer Technologieunternehmen heute mitgeteilt und damit frühere Ankündigungen präzisiert.

Millioneninvestition von Jenoptik in Dresden

Elektronenstrahl-Anlage soll neuartige Sensoren die EUV-Chipbelichtung ermöglichen Dresden/Jena, 18. November 2020. Jenoptik will in seinen Reinräumen in Dresden Präzisionssensoren der nächsten Generation entwickeln und produzieren. Der Technologiekonzern investiert deshalb in der sächsischen Landeshauptstadt einen zweistelligen Millionenbetrag. Mit dem Geld installieren die Ingenieure und Techniker dort eine moderne Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage des Ausrüsters „Vistec Electron Beam GmbH“ aus Jena. Das hat Jenoptik mitgeteilt, ohne aber eine genaue Investitionssumme zu nennen.

TSMC plant Chipproduktion mit Röntgen-Litho ab 2020

Taipeh, 14. Juli 2016. TSMC wird die Chipbelichtung mit weichem Röntgenlicht – die sogenannte EUV-Lithografie – etwa ab dem Jahr 2020 in seinen Chipfabriken in Taiwan einsetzen. Das berichtet der Branchendienst „EE Times“ unter Berufung auf TSMC-Vizechef Mark Liu. Die teuren EUV-Belichter sollen demnach bei der Produktion von 5-Nanometer-Chips zum Einsatz kommen.

Dr. Stefan Braun, Maik Menzel und Peter Gawlitza (v.l.n.r.) vor der Beschichtungsanlage für die Entwicklung von EUV-Reflexionsschichten im IWS Dresden. Foto: Fraunhofer IWS Dresden / Frank Höhler

Fraunhofer Dresden baut Weltrekord-Röntgenspiegel für Chip-Belichter

EUV-Optiken vom IWS reflektieren fast 71 % der Strahlen – für dieses Licht ein Spitzenwert Dresden, 12. Dezember 2015. Fraunhofer-Forscher aus Dresden haben verbesserte Röntgenspiegel für die Chip-Produktion gebaut. Diese Hightech-Spiegel steuern extremes Ultraviolett-Licht (EUV), auch „weiche Röntgenstrahlen“ genannt. Sie werden benötigt, um die Elektronik von übermorgen überhaupt erzeugen zu können. Die neuen EUV-Spiegel aus Dresden stellen neue Weltrekord-Werte in puncto Reflexionsgrad auf, teilte das Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden mit: Die Spiegel werfen nun bis zu 70,75 % der EUV-Strahlen zurück, statt sie zu streuen oder zu verschlucken.

Einer der neuen 7-Nanometer-Testchips. Foto: IBM

IBM-Allianz zeigt erste 7-Nanometer-Chips

Auch Globalfoundries und Samsung an Bord Albany, 9. Juli 2015: Von wegen, die Mikroelektronik stößt demnächst an ihre physikalischen Grenzen, wie seit Jahren geunkt: Einer Forschungsallianz von IBM, Globalfoundries, Samsung und weiteren Partnern ist es jetzt in Albany bei New York gelungen, erste funktionsfähige Computerchips der 7-Nanometer-Generation herzustellen, wie IBM heute mitteilte. Zum Vergleich: Die kleinsten Strukturen auf diesen Testchips sind nur etwa halb so groß wie selbst die fortschrittlichsten Serien-Halbleiter, die bisher nur ganz wenige Elektronikkonzerne wie Intel herstellen können und in denen die Strukturen bis auf 14 Nanometer (Millionstel Millimeter) herunterreichen. Das entspricht etwa dem Zehntausendstel Durchmesser eines menschlichen Haares.

Reinraumbrücke bei Globalfoundries Dresden. Abb.: GF

Chipwettlauf stockt: Globalfoundries will auf Jahre bei 28-nm-Technologie bleiben

Auftragsfertiger will Technik durch Metalltor-Transisitoren „aufbohren“ und bittet Sachsen um 10,6 Millionen Euro Förderhilfe Dresden, 30. April 2014: Der Halbleiter-Auftragsfertiger „Globalfoundries“ (GF)) will für etwa zehn Jahre aus dem Branchen-Wettlauf um immer feinere Chipstrukturen aussteigen. Zumindest am Standort Dresden werde man die jüngst entwickelte 28-Nanometer-Fertigungstechnologie bis über das Jahr 2020 hinaus als bestimmende Produktionsmethode weiternutzen, bestätigten die Dresdner GF-Manager Gerd Teepe und Jens Drews auf Oiger-Anfrage – normalerweise sind in der Spitzen-Mikroelektronik Innovationszyklen von zwei bis vier Jahren üblich. Hauptgrund: GF hält die neuen Chip-Belichtungstechniken per Doppelmuster („Double Patterning“) und Röntgenlicht („EUV„) noch für zu teuer und zu unausgereift, um darauf umzurüsten.