Alle Artikel mit dem Schlagwort: EUV

Blick in einen Reinraum, in dem ASML-Mitarbeiter eine EUV-Anlage kontrollieren. Foto: Ben Winters/Renee d'Hooge für ASML

Chipwerk-Ausrüster ASML wächst

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Umsatz legt durch starke Nachfrage aus Halbleiterindustrie auf 21 Milliarden Euro zu Veldhoven, 15. Februar 2023. ASML hat seine Umsätze im Jahr 2022 um 13,8 Prozent auf 21,2 Milliarden Euro gesteigert. In diesem Zuge sind auch 7130 neue Jobs entstanden. Das hat der niederländische Chipwerk-Ausrüster aus Veldhoven heute mitgeteilt. Die Geschäftsergebnisse hätten sogar noch besser ausfallen können, wenn nicht die Corona-Nachwehen, der Krieg in der Ukraine und Lieferketten-Störungen dazwischengefunkt hätten, schätzte ASML-Chef Peter Wennink ein.

Dr. Dmitry Suyatin, Dr. Amin Karimi und Dr. Reza Jafari Jam von "Alixlabs" im Nanolab-Reinraum der Uni Lund. Foto: Alixlabs / Uni lund

Schweden ätzen in Sachsen den Weg zu Nanochips frei

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Alixlabs Lund will bei Fraunhofer Dresden eine Alternative zur teuren EUV-Belichtungstechnik fabrikreif machen Dresden/Lund, 2. Dezember 2022. Die schwedische Uni-Ausgründung „Alixlabs“ aus Lund will in Sachsen ein neues Ätzverfahren zur Fabrikreife führen. Das soll die Produktion von Nanoelektronik der neuesten Generation deutlich preiswerter möglich machen als bisher kalkuliert. Laut Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist lassen sich damit auch ohne sündhaft teure Extremultraviolett-Belichter (EUV) besonders feine Chipstrukturen von weniger als zehn Nanometern erzeugen.

Das AMTC Dresden ist auf Chipmasken spezialisiert. Foto: AMTC

AMTC hat 800 Millionen in Dresden investiert

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Neue Jobs im Maskenzentrum geplant Dresden, 21. Mai 2022. Angesichts der starken Mikroelektronik-Nachfrage weltweit stockt das Dresdner Chipmasken-Zentrum AMTC seine Belegschaft weiter auf. Außerdem entwickelt das Zentrum derzeit bessere Belichtungsvorlagen, mit denen sich Schaltkreise mit Strukturbreiten von nur noch wenigen Nanometern (Millionstel Millimetern = nm) herstellen lassen. Das hat das Unternehmen aus Anlass seines 20-jährigen Jubiläum mitgeteilt. „Das AMTC ist auf Wachstumskurs“, hieß es aus dem Chipmasken-Zentrum.

Eine Jenoptik-Mitarbeiterin in Berlin bei der Bedampfung optoelektronischer Bauteile. Foto: Torsten Proß von Jeibmann Photographik für Jenoptik (Pressedatenbank)

Umsatzrekord für Jenoptik

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Starke Chipnachfrage sorgt auch bei Halbleiterausrüstern für viele Aufträge Jena/Dresden, 9. Februar 2022. „Jenoptik“ hat im vergangenen Jahr einen neuen Umsatzrekord erzielt: Die Umsätze stiegen um rund ein Fünftel auf 895 Millionen Euro, teilte der Optikkonzern heute in Jena mit. Herausragend sei unter anderem „die anhaltend hohe Nachfrage aus der Halbleiter-Ausrüstungsindustrie“ für die Optiksysteme des Unternehmens gewesen. Auch die Nachfrage für Medizintechnik war ein Wachstumstreiber.

Gerd Teepe. Foto: Heiko Weckbrodt

Halbleiter-Engpass und Tesla-Schock bergen Chancen für Mikroelektronik in Sachsen

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Mikroelektronik-Experte Gerd Teepe warnt vor drohenden chronischen Wettbewerbnachteilen für deutsche Industrie Dresden, 14. Oktober 2021. Deutschland muss unbedingt seine Mikroelektronik-Kapazitäten ausbauen und technologisch verbessern – andernfalls drohen vielen Leitindustrien in Zukunft chronische Wettbewerbsnachteile im Vergleich zur Konkurrenz in Asien und den USA. Das hat der Halbleiter-Experte Gerd Teepe in Dresden gefordert. „Keiner kann wollen, dass die deutsche Automobilindustrie und andere Branche in Zukunft die Chips der Spitzenklasse nur noch mit ein bis zwei Jahren Verzögerung bekommen.“

"Alix Labs" erzeugt mit dem APS-Verfahren Nanostrukturen. Foto: Alix Labs

Alixlabs sammelt 9 Millionen Kronen Risikokapital ein

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Schwedische Mikroelektronik-Firma testet ihre APS-Halbleitertechnologie in Sachsen Lund/Dresden/Bannewitz, 28. September 2021. Um eine neuartige und vor allem preiswerte Herstellungsmethode für Highend-Chips weiterzuentwickeln, bekommt das junge schwedische Technologieunternehmen „Alixlabs“ aus Lund nun neun Millionen Schwedische Kronen (zirka 883.000 Euro) von Risikokapitalgebern. Beteiligt sind Almi Invest sowie private Investoren wie die Sport-Profis Michael, Alexander und William Nylander. Mit dem Geld wollen die Schweden ihre „Atomic Layer Etch Pitchsplitting“ (APS) genannte Fertigungstechnologie verbessern und in Bannewitz in Sachsen testen. Das hat Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist mitgeteilt, der ähnlich wie viele seiner Mitstreiter eng mit dem Mikroelektronik-Standort Dresden vernetzt ist.

Blick in einen Mikrooptik-Reinraum von Jenoptik. Foto: Jenoptik

Jenoptik steckt 70 Millionen in neue Fabrik in Dresden

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

60 neue Jobs angekündigt Dresden/Jena, 16. September 2021. Jenoptik will rund 70 Millionen Euro in den Aufbau seiner geplanten neuen Fabrik in Dresden investieren. Dadurch sollen sich die Produktionskapazitäten in der sächsischen Landeshauptstadt verdoppeln. Auch die Belegschaft werde sich dadurch mehr als verdoppeln – um 60 auf dann 110 Mitarbeiter in Dresden. Das hat das Jenaer Technologieunternehmen heute mitgeteilt und damit frühere Ankündigungen präzisiert.

Eine Jenoptik-Mitarbeiterin in Berlin bei der Bedampfung optoelektronischer Bauteile. Foto: Torsten Proß von Jeibmann Photographik für Jenoptik (Pressedatenbank)

Millioneninvestition von Jenoptik in Dresden

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Elektronenstrahl-Anlage soll neuartige Sensoren die EUV-Chipbelichtung ermöglichen Dresden/Jena, 18. November 2020. Jenoptik will in seinen Reinräumen in Dresden Präzisionssensoren der nächsten Generation entwickeln und produzieren. Der Technologiekonzern investiert deshalb in der sächsischen Landeshauptstadt einen zweistelligen Millionenbetrag. Mit dem Geld installieren die Ingenieure und Techniker dort eine moderne Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage des Ausrüsters „Vistec Electron Beam GmbH“ aus Jena. Das hat Jenoptik mitgeteilt, ohne aber eine genaue Investitionssumme zu nennen.

TSMC plant Chipproduktion mit Röntgen-Litho ab 2020

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Taipeh, 14. Juli 2016. TSMC wird die Chipbelichtung mit weichem Röntgenlicht – die sogenannte EUV-Lithografie – etwa ab dem Jahr 2020 in seinen Chipfabriken in Taiwan einsetzen. Das berichtet der Branchendienst „EE Times“ unter Berufung auf TSMC-Vizechef Mark Liu. Die teuren EUV-Belichter sollen demnach bei der Produktion von 5-Nanometer-Chips zum Einsatz kommen.

Dr. Stefan Braun, Maik Menzel und Peter Gawlitza (v.l.n.r.) vor der Beschichtungsanlage für die Entwicklung von EUV-Reflexionsschichten im IWS Dresden. Foto: Fraunhofer IWS Dresden / Frank Höhler

Fraunhofer Dresden baut Weltrekord-Röntgenspiegel für Chip-Belichter

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

EUV-Optiken vom IWS reflektieren fast 71 % der Strahlen – für dieses Licht ein Spitzenwert Dresden, 12. Dezember 2015. Fraunhofer-Forscher aus Dresden haben verbesserte Röntgenspiegel für die Chip-Produktion gebaut. Diese Hightech-Spiegel steuern extremes Ultraviolett-Licht (EUV), auch „weiche Röntgenstrahlen“ genannt. Sie werden benötigt, um die Elektronik von übermorgen überhaupt erzeugen zu können. Die neuen EUV-Spiegel aus Dresden stellen neue Weltrekord-Werte in puncto Reflexionsgrad auf, teilte das Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden mit: Die Spiegel werfen nun bis zu 70,75 % der EUV-Strahlen zurück, statt sie zu streuen oder zu verschlucken.

Einer der neuen 7-Nanometer-Testchips. Foto: IBM

IBM-Allianz zeigt erste 7-Nanometer-Chips

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Auch Globalfoundries und Samsung an Bord Albany, 9. Juli 2015: Von wegen, die Mikroelektronik stößt demnächst an ihre physikalischen Grenzen, wie seit Jahren geunkt: Einer Forschungsallianz von IBM, Globalfoundries, Samsung und weiteren Partnern ist es jetzt in Albany bei New York gelungen, erste funktionsfähige Computerchips der 7-Nanometer-Generation herzustellen, wie IBM heute mitteilte. Zum Vergleich: Die kleinsten Strukturen auf diesen Testchips sind nur etwa halb so groß wie selbst die fortschrittlichsten Serien-Halbleiter, die bisher nur ganz wenige Elektronikkonzerne wie Intel herstellen können und in denen die Strukturen bis auf 14 Nanometer (Millionstel Millimeter) herunterreichen. Das entspricht etwa dem Zehntausendstel Durchmesser eines menschlichen Haares.

Reinraumbrücke bei Globalfoundries Dresden. Abb.: GF

Chipwettlauf stockt: Globalfoundries will auf Jahre bei 28-nm-Technologie bleiben

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Auftragsfertiger will Technik durch Metalltor-Transisitoren „aufbohren“ und bittet Sachsen um 10,6 Millionen Euro Förderhilfe Dresden, 30. April 2014: Der Halbleiter-Auftragsfertiger „Globalfoundries“ (GF)) will für etwa zehn Jahre aus dem Branchen-Wettlauf um immer feinere Chipstrukturen aussteigen. Zumindest am Standort Dresden werde man die jüngst entwickelte 28-Nanometer-Fertigungstechnologie bis über das Jahr 2020 hinaus als bestimmende Produktionsmethode weiternutzen, bestätigten die Dresdner GF-Manager Gerd Teepe und Jens Drews auf Oiger-Anfrage – normalerweise sind in der Spitzen-Mikroelektronik Innovationszyklen von zwei bis vier Jahren üblich. Hauptgrund: GF hält die neuen Chip-Belichtungstechniken per Doppelmuster („Double Patterning“) und Röntgenlicht („EUV„) noch für zu teuer und zu unausgereift, um darauf umzurüsten.

Spitzenmanager und EU-Vertreter beraten Europas Mikroelektronik-Strategie

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Stresa/Dresden/Brüssel, 18. Februar 2013: Spitzenmanager der europäischen Halbleiterindustrie und EU-Vertreter wollen Ende dieser Woche beim Industrie-Strategiesymposium „ISS 2013“ im italienischen Stresa nahe Mailand den technologischen und wirtschaftspolitischen Kurs der europäischen Mikroelektronik für die kommenden Jahre beraten. Das kündigte der Branchenverband SEMI Europe als Organisator der Tagung an.

Mehr Mut von Europa beim Technologiesprung zu EUV und 450-mm-Fabs gefordert

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Innovationsforum für Fabrikautomatisierung in Dresden Dresden, 22. Januar 2013: Mehr Mut und visionären Geist beim Umstieg auf neue Technologien wie 450-mm-Wafer und die Röntgenstrahl-Belichtung fordert der Industrieanalyst Malcom Penn von der europäischen Halbleiter-Branche. Die jetzt getätigten Weichenstellungen seien entscheidend für die Zukunft von Europas Mikroelektronik, meint der Analyst des Marktforschungs-Unternehmens „Future Horizons“. „Kleinmütigkeit funktioniert hier nicht“, betont der Analyst. Seine Ansichten über den „Wind of Change“, den Wandel in der Mikroelektronik-Branche, will Penn am Donnerstag auf dem „10. Innovation Forum for Fab Automation” (24. und 25. Januar 2013) in Dresden darlegen, dessen Gastgeber diesmal der Chipauftragsfertiger „Globalfoundries“ sein wird.