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Millioneninvestition von Jenoptik in Dresden

Eine Jenoptik-Mitarbeiterin in Berlin bei der Bedampfung optoelektronischer Bauteile. Foto: Torsten Proß von Jeibmann Photographik für Jenoptik (Pressedatenbank)

Eine Jenoptik-Mitarbeiterin in Berlin bei der Bedampfung optoelektronischer Bauteile. Foto: Torsten Proß von Jeibmann Photographik für Jenoptik (Pressedatenbank)

Elektronenstrahl-Anlage soll neuartige Sensoren die EUV-Chipbelichtung ermöglichen

Dresden/Jena, 18. November 2020. Jenoptik will in seinen Reinräumen in Dresden Präzisionssensoren der nächsten Generation entwickeln und produzieren. Der Technologiekonzern investiert deshalb in der sächsischen Landeshauptstadt einen zweistelligen Millionenbetrag. Mit dem Geld installieren die Ingenieure und Techniker dort eine moderne Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage des Ausrüsters „Vistec Electron Beam GmbH“ aus Jena. Das hat Jenoptik mitgeteilt, ohne aber eine genaue Investitionssumme zu nennen.

Elektronenstrahl-Anlage von Vistec - eine ähnliche, aber modernene Anlage installiert das Unternehmen bei Jenoptik Dresden. Foto: Vistec (Pressefoto)

Elektronenstrahl-Anlage von Vistec – eine ähnliche, aber modernene Anlage installiert das Unternehmen bei Jenoptik Dresden. Foto: Vistec (Pressefoto)

Nanooptik-Sensoren für hochpräzise Chip-Belichtung

Konkret will Jenoptik mit der neuen Anlage in Dresden auf 300 Millimeter großen Scheiben (Wafer) hochpräzise Nano-Optiken erzeugen. Daraus bauen Spezialisten dann Sensoren, die für die Lithografie der nächsten Generation in Halbleiterfabriken gebraucht werden. Dabei geht es beispielsweise um weiterentwickelte Chip-Belichtungsmethoden mit „tiefem Ultraviolett-Strahlen“ („Deep Ultraviolet Lithography“ = DUV) und mit extremen Ultraviolett-Strahlen (EUV), mit der sich Chipstrukturen dünner als zehn Nanometer erzeugen lassen.

Als Chipwerk-Zulieferer gefragt

Insofern ist die neue Investition in Dresden für Jenoptik ein weiterer Baustein, um sich auch in Zukunft als Schlüsselzulieferer für die Mikroelektronik-Industrie zu behaupten. „Die enorme Präzision und Flexibilität der neuen Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage wird dazu beitragen, dass auch zukünftige Evolutionsstufen in der Halbleiterbelichtungstechnologie erfolgreich mit den benötigten Sensoren unterstützt werden können“, schätzten die Jenoptik-Manager ein.

Elektronen können nanometer-genaue Strukturen schreiben

Die neue Anlage selbst erzeugt Strukturen mit beschleunigten Elektronen, die auf zehn Nanometer (Millionstel Millimeter) genau in ein Material eingravieren können. Sie soll Mitte 2022 in der sächsischen Landeshauptstadt in Betrieb gehen.

Jena und Dresden schon seit Jahrzehnten in der Halbleitertechnologie liiert

Jenoptik hatte einerseits wegen der zahlreichen Halbleiter-Unternehmen in Dresden angesiedelt, anderseits gab es schon zu DDR-Zeiten enge Verflechtungen zwischen Dresden und Jena in der Mikroelektronik. Das Unternehmen betreibt hier Reinräume, in denen es Sensormodule für die Halbleiterindustrie entwickelt und produziert. Jenoptik erweitert derzeit auch seine Belegschaft in Dresden und sucht unter anderem weibliche und männliche Monteure, Fertiger und Azubis für Mikrooptik und Mikrotechnologie.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quelle: Jenoptik

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