Ehemaliges Ingenierbüro ist am Stadtrand von Dresden zu einem Technologieführer in der Nische gewachsen

Boxdorf, 18. April 2024. Angesichts der großen Nachfrage aus der Halbleiter-Industrie wird der Anlagenbauer „Adenso“ aus dem sächsischen Boxdorf seine Reinraum-Roboter künftig verstärkt außerhalb Europas anbieten, insbesondere in den USA und Japan. Das hat Adenso-Chef Uwe Beier bei einer Visite von Sachsens Wirtschaftsminister Martin Dulig angekündigt.

Dresdner TU-Absolvent schoss sich auf Wafer-Bewegungen im Reinraum ein

Beier, der nach der Wende zunächst Maschinenbau an der TU Dresden studiert und danach als Ingenieur bei Suss Microtec und Leybold Optics gearbeitet hatte, machte sich beizeiten selbstständig. 1998 gründete er ein Konstruktionsbüro in Ottendorf-Okrilla. Das spezialisierte sich beizeiten auf Spezialtechnik für die Halbleiterindustrie, insbesondere auf Transportsysteme und Roboter für die Siliziumscheiben (Wafer), auf denen die großen Mikroelektronik-Fabriken ihre Chips erzeugen. 2008 wurde aus dem Ingenieurbüro die „Adenso GmbH“, die 2020 in eine neue Entwicklungs- und Produktionsstätte in Boxdorf nahe der Stadtgrenze zwischen Dresden und Moritzburg umzog.

Internationale Ausrüster automatisieren ihre Anlagen mit Adenso-Robotik

Inzwischen ist das – weiterhin sehr ingenieurlastige – Unternehmen auf 50 Beschäftigte gewachsen und schlägt zunehmend den Weg vom Sondermaschinenbauer zum Hochtechnologie-Serienproduzenten an. Im Fokus stehen vor allem Lade-Anlagen, Heizsysteme, Vakuumkammern und vor allem selbst entwickelte Reinraum-Roboter. Große Chipfabrikausrüster kaufen diese Spezialsysteme von Adenso zu und docken sie dann an ihre eigenen Ionen-Implanter und anderen Prozess-Anlagen an, um das Produktionstempo zu erhöhen und den Personalbedarf in den Chipfabriken per Hochautomatisierung zu senken. Die Namen der Kunden behandelt Beier vertraulich und will sie nicht nennen. Doch offensichtlich gehört dazu neben japanischen Branchengrößen unter anderem auch der weltweit wichtigste Produzent von Lithografie-Anlagen: ASML aus den Niederlanden.

25 % Wachstum pro Jahr

Angesichts der jüngsten, nicht zuletzt auch durch ambitionierte staatliche Förderprogramme gespeisten Renaissance der Mikroelektronik in Europa, in den USA, in Japan, Südkorea, China, Indien und anderswo rechnet der Adenso-Chef auch weiter mit einer starken Nachfrage für seine Reinraum-Roboter und Spezialsysteme. „Pro Jahr wachsen wir um etwa 25 Prozent“, sagt er. Dabei ziehe Adenso auch seine eigene Zulieferkette mit: In dem Maße, wie sich die Boxdorfer Ingenieure Jahr für Jahr in die besonderen Qualitätsansprüche und Spezialwünsche ihrer Kunden aus der globalen Chipfabrik-Ausrüsterindustrie hineingefuchst haben, haben sie Stahlbauer und andere Partner von Adenso aus dem Umfeld an dieses Niveau herangeführt. „An unseren Qualitätsanforderungen sind auch unsere regionalen Zulieferer gewachsen“, meint Beier.

Adenso-Chef: Vom Wachstum der Halbleiterindustrie profitieren hier alle

Und mit Blick auf die Mega-Chipfabrik, die TSMC drei Kilometer weiter im benachbarten Dresden bauen will, rechnet der Ingenieur und Gründer mit Rückenwind für die gesamte Zulieferindustrie im „Silicon Saxony“: „Je mehr die Halbleiterindustrie wächst, umso mehr haben hier alles etwas davon.“

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: Vor-Ort-Besuch, Adenso, Auskünfte U. Beier, Linkedin, Oiger-Archiv

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