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Fraunhofer-CNT muss Infineon-Chipfabrik Dresden räumen

Blick in den 300-mm-Reinraum des Fraunhofer-CNT in Dresden-Klotzsche. Die Zentrums-Leitung will nun weitere Reinraumflächen bei Infineon anmieten. Foto. Fraunhofer IPMS

Blick in den 300-mm-Reinraum des Fraunhofer-CNT in Dresden. Foto. Fraunhofer IPMS

Chiphersteller braucht Reinraum selbst und hat den Nanoelektronik-Forschern den Mietvertrag gekündigt

Dresden, 14. Januar 2019. Das Fraunhofer-Zentrum für Nanoelektronik-Technologien (CNT) muss die Chipfabrik von Infineon Dresden verlassen: Der Halbleiterkonzern hat dem CNT den Mietvertrag in seinem Reinraum zum 31. Januar 2021 gekündigt. Das geht aus Oiger-Informationen hervor, die beide Institutionen auf Anfrage inzwischen bestätigt haben. Hintergrund sind die gute Auftragslage und Ausbaupläne bei Infineon.

CNT sucht mit Hochdruck nach neuem Standort

„Wir arbeiten mit Hochdruck daran, nun eine Lösung zu finden“, erklärte CNT-Chef Martin Landgraf auf Anfrage. Auch die Mitarbeiter und die sächsische Landesregierung habe er bereits über die neue Lage informiert. Einen neuen Standort zu finden, sei eine anspruchsvolle Herausforderung.

Problem: 300-mm-Reinräume sind rar und CNT rüstet gerade auf

Denn das CNT entwickelt Nanoelektronik-Technologien auf Siliziumscheiben, die 300 Millimeter groß sind. Reinräume gibt es zwar einige in Dresden, aber nur wenige, die für eine 300-mm-Produktion geeignet sind. Hinzu kommt: Fraunhofer hat gerade damit begonnen, das CNT wegen guter Auftragslage für 40 Millionen Euro mit moderneren Anlagen auszurüsten. Diese Investition sollte bis 2020 abgeschlossen sein – und ein Jahr später soll das CNT nun eben diese Flächen wieder räumen.

Infineon will bei Suche helfen

„Wir wollen das CNT dabei unterstützen, etwas Neues zu finden“, betonte der Dresdner Infineon-Sprecher Christoph Schumacher. Zum Auszug der Fraunhofer-Forscher sieht er allerdings keine Alternative: „Der Infineon-Standort Dresden entwickelt sich sehr gut und wir brauchen daher den Reinraum zurück, den wir an Fraunhofer vermietet hatten.“ Mit Blick auf die Auftragslage und Umsatzentwicklung habe sich herausgestellt, dass die bisher genutzten Chipfabrik-Flächen nur noch bis Ende 2020 reichen werden, damit Infineon Dresden alle Aufträge abarbeiten kann. Andererseits würde es lange dauern, einen eigenen Anbau zu errichten. Daher sei die Kündigung für das CNT notwendig geworden.

Das CNT arbeitet mit einer 300-mm-Linie im früheren Qimonda-Reinraum - solche Forschungsbedingungen gibt es europaweit sonst nur selten. Abb.: CNT

Das CNT arbeitet mit einer 300-mm-Linie im früheren Qimonda-Reinraum – solche Forschungsbedingungen gibt es europaweit sonst nur selten. Abb.: CNT

Ursprünglich als Gemeinschaftsprojekt mit Qimonda gegründet

Das CNT hat bereits eine bewegte Geschichte hinter sich: Fraunhofer und die damalige Infineon-Tochter Qimonda hatten das CNT 2005 ursprünglich als öffentlich-private Gemeinschaftseinrichtung gegründet, um Spitzentechnologien für das deutsche Speicherchip-Unternehmen zu entwickeln. Dafür bekam das Zentrum einen Teil des hochmodernen Qimonda- und Infineon-Reinraums zur Verfügung gestellt – samt 300-mm-Infrakstruktur.

Luftbild vom Standort: Links die Infineon-Werke, ganz rechts der Reinraum und das Bürohaus, in dem das CNT sitzt. Abb.: FHG

Luftbild vom Standort: Links die Infineon-Werke, ganz rechts der Reinraum und das Bürohaus, in dem das CNT sitzt. Abb.: FHG

CNT stand schon einmal kurz vor dem Aus

Nach der Qimonda-Pleite 2009 stand das CNT aber kurz vor dem Aus. Vor allem auf Druck von Globalfoundries, die weiter mit Fraunhofer forschen wollten, fand Fraunhofer eine andere Lösung: Sie schlug 2012 das CNT mitsamt rund 50 Mitarbeitern als Abteilung dem Dresdner Fraunhofer-Photonikinstitut IPMS zu, es konnte auf Mietbasis die Flächen in der Infineon-Chipfabrik weiternutzen. Seitdem hat sich die Auftragslage verbessert und die Belegschaft wieder etwas vergrößert. Das CNT forscht unter anderem für und mit Globalfoundries, Infineon und BASF. Das Zentrum hat nun knapp 60 Mitarbeiter.

Autor: Heiko Weckbrodt

Repro: Oiger, Original: Madeleine Arndt