„Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ finanziert neue Anlagen

Dresden, 13. Juni 2018. Die Fraunhofer-Gesellschaft investiert bis zum Jahr 2020 rund 40 Millionen Euro in das Nanoelektronik-Zentrum CNT in Dresden. Das hat Professor Hubert Lakner angekündigt, der das CNT-Mutterinstitut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) leitet. „Es geht aufwärts im CNT“, kommentierte er diese Weichenstellung, die nur scheinbar selbstverständlich ist: Nach der Qimonda-Pleite hatte das Nanoelektronikzentrum von Fraunhofer kurz vor dem Aus gestanden.

Fit für 12-nm-Chips

Mit den nun avisierten Investitionen will Lakner das CNT für die Forschung an Chipstrukturen bis hinab zu zwölf Nanometern (Millionstel Millimeter = nm) fit machen. Das dürfte vor allem für den Kunden Globalfoundries wichtig sein, der gerade die 12FDX-Technologie entwickelt. Angeschafft werden mit dem Geld zum Beispiel Messtechnik, Qualitätstester und Lithografieanlagen (Chip-Belichter), die in der 300-Millimeter-Wafer-Forschungslinie neben der Infineon-Fabrik in Dresden-Klotzsche ab 2020 hochfahren sollen. Die Gelder stammen aus dem Fraunhofer-Sonderprogramm „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD).

Werbevideo über das CNT:

Über das CNT Dresden

Das CNT war ursprünglich 2005 als gemeinsames Zentrum von Fraunhofer und Qimonda entstanden. Es sollte für den deutschen Speicherchip-Konzerns einen Forschungsvorsprung gegenüber der internationalen Konkurrenz herausarbeiten. Mit der Qimonda-Insolvenz 2009 verlor die Einrichtung aber ihren wichtigsten Kunden und sollte geschlossen werden. Nicht zuletzt auf Intervention von Globalfoundries hin entschloss sich die Fraunhofer-Gesellschaft dann doch zu einer anderen Lösung. Sie schlug 2012 das CNT mitsamt rund 50 Mitarbeitern als Abteilung dem IPMS zu. Inzwischen hat sich die Auftragslage verbessert und die Belegschaft wieder etwas vergrößert, teilte Lakner mit. Das CNT forscht unter anderem für und mit Globalfoundries, Infineon und BASF. Das Zentrum hat nun knapp 60 Mitarbeiter.

Erst kürzlich hatte zudem das Mutterinstitut für rund 30 Millionen Euro seinen eigenen Chip-Reinraum an der Maria-Reiche-Straße modernisiert und von 150 auf 200 Millimeter große Siliziumscheiben (Wafer) umgerüstet.

Autor: Heiko Weckbrodt

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