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Globalfoundries hat 25 Millionen Euro in Dresdner Nanozentrum CNT gepumpt

Schauen in eine ungewisse Zukunft: CNT-Mitarbeiter im Reinraum. Abb.: CNT

Schauen in eine ungewisse Zukunft: CNT-Mitarbeiter im Reinraum. Abb.: CNT

Dresden, 16. Oktober 2012: Der Chip-Auftragsfertiger „Globalfoundries“ (GF) hat in den vergangenen sechs Jahren rund 25 Millionen Euro in das jetzt vom Aus bedrohte Dresdner Fraunhofer-Zentrum für Nanoelektronik gepumpt und plant weitere Technologieprojekte dort – und hat schon von daher kein Interesse an einer Zerschlagung des CNT, über die der Senat der Fraunhofer-Gesellschaft (FHG) berät. Das hat der „Computer-Oiger“ aus Industriekreisen erfahren.

Diese Summe wirft auch ein neues Licht auf die Angaben des inzwischen ausgeschiedenen FHG-Präsidenten Hans-Jörg Bullinger, der die geplante Auflösung unter anderem mit den geringen Industrieerlösen des Forschungszentrums begründet hatte, das zu sehr vom Hauptkunden Infineon abhängig sei.

„Hi K Metal Gate“-Technologie mitentwickelt

GF-Sprecher Jens Drews wollte sich über die Höhe der geflossenen Summen nicht äußern, betonte aber: „Für uns ist das CNT ein wichtiger Partner, mit dem zusammen wir wichtige Technologien erarbeitet haben.“ Dazu gehöre zum Beispiel der Einsatz von Kohlenstoff in der Mikroprozessor-Fertigung oder die Anti-Leckstrom-Technik „Hi K Metal Gate“, die GF in seinen neuesten Chips einsetzt und die sich hoher Nachfrage erfreut. Insofern wäre jede Unterbrechung der CNT-Tätigkeit oder gar eine Verteilung der Forscher auf andere Institute für das Mikroelektronikunternehmen ausgesprochen nachteilig, sagte Drews. Derzeit prüfe man neue Forschungsprojekte gemeinsam mit dem Zentrum.

Die FHG-Pläne sehen vor, das CNT als selbstständiges Zentrum in Dresden aufzulösen, weil es zu teuer ist und zu wenig Erlöse erwirtschaftet. Es wird voraussichtlich dem FHG-Photonik-Institut IPMS in Dresden zugeordnet. Noch strittig ist vor allem, ob die CNT-Forscher ihre moderne 300-Millimeter-Chipfertigungslinie im Infineon-Reinraum in Dresden-Klotzsche behalten dürfen. Heute will der FHG-Senat seine Entscheidung bekannt geben.

Das CNT entstand im Mai 2005 als „Public Private Partnership“ (PPP) zwischen der FHG und dem damaligen Speicherchipkonzern Qimonda. Als Qimonda 2009 pleite ging, fiel der wichtigste Partner für das CNT weg, das sich in hohem Maße auf das Moorsche Gesetz, auf den schnellen Vorstoß in immer feinere Strukturgrößen konzentriert hatte. Insofern kämpft der Standort Dresden hier imer noch mit den Spätfolgen der Qimonda-Pleite.

In dieser Situation sprang damals GF als Haupttechnologiepartner ein. Infineon dagegen profilierte sich als Logikchip-Hersteller unter dem Leitmotto „More than Moore“ auf die Integration neuer Funktionen in Siliziumchips statt auf immer kleinere Strukturbreiten.

Die ganzen „Moore“-Mottos beziehen sich auf das sogenannte „Moorsche Gesetz“, in dem Intel-Mitgründer Gordon Moore postuliert hatte, dass sich alle ein bis zwei Jahre der Integrationsgrad (beziehungsweise das Tempo) von Prozessoren verdoppeln. Heiko Weckbrodt

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