Belgier planen 450-mm-Chipfabrik mit Röntgenlicht ab 2015
Leuven, 11.10.2011: Das europäische Nanoelektronikzentrum IMEC im belgischen Leuven will ab 2015 eine Versuchs-Fabrik einrichten, die Chips auf 450 Millimeter großen Scheiben (Wafer) mittels weichem Röntgenlicht erzeugt (so genannte EUV-Technologie). Das berichtet der Branchendienst „EE Times“ unter Berufung auf IMEC-Chef Luc van den Hove.
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