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Dr. Dmitry Suyatin, Dr. Amin Karimi und Dr. Reza Jafari Jam von "Alixlabs" im Nanolab-Reinraum der Uni Lund. Foto: Alixlabs / Uni lund

Schweden ätzen in Sachsen den Weg zu Nanochips frei

Alixlabs Lund will bei Fraunhofer Dresden eine Alternative zur teuren EUV-Belichtungstechnik fabrikreif machen Dresden/Lund, 2. Dezember 2022. Die schwedische Uni-Ausgründung „Alixlabs“ aus Lund will in Sachsen ein neues Ätzverfahren zur Fabrikreife führen. Das soll die Produktion von Nanoelektronik der neuesten Generation deutlich preiswerter möglich machen als bisher kalkuliert. Laut Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist lassen sich damit auch ohne sündhaft teure Extremultraviolett-Belichter (EUV) besonders feine Chipstrukturen von weniger als zehn Nanometern erzeugen.

Demonstratorbauteile aus Kupfer und weiteren Metallen aus dem 3D-Siebdrucker. Foto: Fraunhofer-Ifam

Präzisions-3D-Druck für den Umweltschutz

Mit hochpräzisen additiven Technologien will Fraunhofer Dresden den Stromhunger von E-Motoren dämpfen Dresden, 25. Oktober 2021. Der metallische 3D-Druck erobert sich immer neue Einsatzfelder – zum Beispiel für winzige kleine Computerchip-Kühlkörper, Mini-Brennstoffzellen, Hochfrequenzfilter für 5G-Funk oder besonders filigrane Elektrobleche für elektrische Antriebe. „Wir können inzwischen sehr feine metallische Strukturen in 3D erzeugen“, schätzt Thomas Studnitzky ein, der im „Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung“ (Ifam) in Dresden die Gruppe für 3D-Metalldruck leitet. Durch dreidimensionalen Siebdruck mit Metallpulver-Pasten und flüssigen Organikverbindungen, aber auch durch neuartige Belichtungsverfahren wie das „Lithography-based Metal Manufacturing“ (LMM) stoße die additive Fertigung – wie 3D-Druck in der Industrie genannt wird – immer mehr in die Welt der mikroskopisch kleinen Strukturen unterhalb von einem Millimeter vor.

Turbo für Röntgen-Lithografie und 450-mm-Wafer: Intel gibt ASML bis zu 3,3 Milliarden €

US-Konzern wird auch Anteilseigner von ASML Santa Clara/Veldhoven/Dresden, 10.7.2012: Intel fürchtet anscheinend um „Moore’s Law“, das Wachstums-Grundgesetz der Mikroelektronik: Der Prozessorriese hat nun angekündigt, bis zu 3,3 Milliarden Euro (4,1 Milliarden Dollar) in den holländischen Chipfabrik-Ausrüster ASML in Veldhoven zu investieren, um den Umstieg von der klassischen Chipbelichtungstechnik auf Röntgenlithografie (Extrem Ultra Violet = EUV) und von 300 auf 450 Millimeter große Siliziumscheiben in der Halbleiterfertigung massiv zu beschleunigen. Dabei wird Intel auch Minderheitsaktionär von ASML.