Alle Artikel mit dem Schlagwort: ALE

Chip-Finnenschwede: Sachsen ist meine zweite Heimat geworden

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Jonas Sundqvist will von Sachsen aus Europas Chipindustrie eine ätzenden Schub in die Nanowelt verpassen Dresden, 3. April 2023. Sachsen und Schweden haben eigentlich viel gemeinsam, ist Dr. Jonas Sundqvist überzeugt: Das Schulsystem zu DDR-Zeiten erinnert ihn an das schwedische, der Gedanke des gemeinsamen Lernens und dergleichen mehr. Nur richtig große Chipfabriken und große Reinräume, die hat Schweden eben nicht – und vor allem deshalb ist Dresden für den Halbleiterexperten Sundqvist eine zweite Heimat geworden: Über zwei Jahrzehnte lang hat er in den großen Chipbuden und Forschungsschmieden des „Silicon Saxony“ gearbeitet, hat ein Stück weit den Standort auch mitgeformt.

An der neuen Atomlagenabscheidungs-Anlage können die DCST-Forscher und -Forscherinnen nun auch atomdünne Metallschichten mit hoher Präzision erzeugen. Foto: DCST

Atomgenaue Beschichter für ausbeutestarke Sonnenstrom-Sammler

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Technologiehochburg Dresden richtet internationale Tagung für Atomlagenabscheidung aus Dresden, 8. März 2023. Als die Russen und Finnen in den 1960er und 70er Jahren die Atomlagenabscheidung – heute als ALD abgekürzt – erfanden, sah das nach einem großen Wurf aus: Damit ultradünne Schichten aus Titan, Alu oder Kristallstrukturen zu erzeugen, erschien universell einsetzbar. Doch das Verfahren erwies sich erst mal als zu langsam, war nur schubweise in speziellen Kammern möglich und setzte sich vorerst nur in der Mikroelektronik durch. Mittlerweile aber haben Ingenieure aus Sachsen, Belgien und anderswo jeweils ganz eigene Drehs gefunden, um die atomgenaue Beschichtung auf Trab zu bringen. Auf der Ausstellungstagung „ALD for Industry“ wollen sie diese innovativen Ansätze am 21. und 22. März 2023 in Dresden näher vorstellen.

Dr. Dmitry Suyatin, Dr. Amin Karimi und Dr. Reza Jafari Jam von "Alixlabs" im Nanolab-Reinraum der Uni Lund. Foto: Alixlabs / Uni lund

Schweden ätzen in Sachsen den Weg zu Nanochips frei

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Alixlabs Lund will bei Fraunhofer Dresden eine Alternative zur teuren EUV-Belichtungstechnik fabrikreif machen Dresden/Lund, 2. Dezember 2022. Die schwedische Uni-Ausgründung „Alixlabs“ aus Lund will in Sachsen ein neues Ätzverfahren zur Fabrikreife führen. Das soll die Produktion von Nanoelektronik der neuesten Generation deutlich preiswerter möglich machen als bisher kalkuliert. Laut Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist lassen sich damit auch ohne sündhaft teure Extremultraviolett-Belichter (EUV) besonders feine Chipstrukturen von weniger als zehn Nanometern erzeugen.

Der Mikroelektronik-Experte Dr. Jonas Sundqvist ist der Geschäftsführer von "Alix Labs" im schwedischen Lund. Foto: Alix Labs

Schweden wollen mit Ätz-Spalttechnik Chipproduktion in Sachsen umkrempeln

Veröffentlicht von Heiko Weckbrodt

Alix Labs aus Lund testet Verfahren nun im Silicon Saxony Lund/Bannewitz, 13. Mai 2021. Ingenieure aus Schweden und Sachsen wollen gemeinsam die Mikroelektronik-Produktion umkrempeln. Dafür hat das schwedische Technologie-Unternehmen „Alix Labs“ ein Verfahren entwickelt, das die Produktion neuester Computerchips mit Strukturgrößen unterhalb von zehn Nanometern (Millionstel Millimeter) stark vereinfachen und verbilligen soll. Dabei geht es auch darum, den Einsatz teurer Belichtungsanlagen mit „Extremer Ultraviolett-Strahlung“ (EUV) zu vermeiden, die etwa 120 Millionen Euro pro Maschine kosten und für die es weltweit nur eine Quelle gibt: ASML aus den Niederlanden. Um auf alternativen Wegen feinste Chipstrukturen zu erzeugen, setzen die Schweden auf eine „Pitch-Splitting-Methode“ (APS) mittels Atomlagen-Ätzen (Atomic Layer Etching, abgekürzt ALE). „Plasway Technologies“ aus Bannewitz in Dresden transferiert dieses Verfahren nun in einen industrienahen Maßstab auf 300 Millimeter großen Siliziumscheiben (Wafer).