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Globalfoundries und Toppan investieren 100 Millionen Euro in Dresdner Chipmaskenzentrum AMTC

Joint Venture wird für Röntgen-Chiptechnik und 14-Nanometer-Generation fit gemacht
Chip-Maske aus dem AMTC Dresden. Abb.: AMTC

Chip-Maske aus dem AMTC Dresden. Abb.: AMTC

Dresden, 12. Dezember 2012: Globalfoundries und Toppan Photomasks investieren in den nächsten Jahren rund 100 Millionen Euro in das Dresdner Chipmasken-Forschungszentrum AMTC, um es für den Vorstoß zu noch feineren Halbleiter-Strukturen aufzurüsten. Das gaben beide Unternehmen heute bekannt. Mit dem Geld sollen die AMTC-Forscher unter anderem Chip-Belichtungsvorlagen entwickeln, die für den Einsatz von weichem Röntgenlicht (Extremes Ultraviolett = EUV) und optischen Verfahren benötigt werden, wenn in naher Zukunft 14-Nanometer-Chips gefragt sind.

Dies ist auch als Signal zu werten, dass der US-Auftragsfertiger „Globalfoundries“ den Umstieg auf die neue – aber auch teure – EUV-Lithografie anstrebt. Das AMTC wird aber auch klassische Chipmasken für 20-Nanometer-Halbleiter weiterentwickeln, betonten die Partner GF und Toppan, die an dem Joint Venture „AMTC“ beteiligt sind. Sie verlängerten ihre Partnerschaft in diesem Zuge um weitere fünf Jahre bis 2017. GF bestimmte gleichzeitig Toppan zum bevorzugten Maskenlieferanten für seine Spitzenwerke in Dresden, New York und Singapur.

Das AMTC selbst wird durch die neuen Aufgaben auch weitere Mitarbeiter einstellen. Derzeit beschäftigt das Zentrum in Dresden 170 Spezialisten. Gegründet wurde es ursprünglich 2002 von DuPont, AMD und Infineon. In den vergangenen Jahren hatten die Vertragspartner bereits 363 Millionen Euro.

„Dieser erfreuliche Schritt stärkt das AMTC in Dresden und damit auch den gesamten Mikroelektronikstandort Sachsen“, kommentierte Sachsens Forschungsministerin Sabine von Schorlemer (parteilos die Ankündigung. Mit Blick auf die Schlüsseltechnologie-Initiative der EU betonte sie: „Ich werde weiter dafür werben, dass die Systemrelevanz der Mikroelektronik anerkannt wird und die sich daraus ableitenden Konsequenzen für eine entsprechende Industrie- und Forschungspolitik gezogen werden.“ Heiko Weckbrodt

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