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AIS Dresden bereitet Automatisierung für neue 450-mm-Chipfabriken vor

Ein vollautomatisches Transportsystem für Wafer durchzieht das Doppelwerk.

AIS kümmert sich in Chipfabriken auch um die vollautomatischen Wafer-Transportsysteme. Abb.: Infineon

Dresden, 26.3.2012: Die Dresdner „Roth & Rau“-Tochter „AIS Automation GmbH“ beteiligt sich mit Unterstützung der Wirtschaftsförderung Sachsen am nächsten großen Schritt in der Chipindustrie: dem Umstieg von 300 Millimeter (mm) großen Siliziumscheiben (Wafer) auf 450-mm-Wafer. Das kündigte AIS-Forschungs-Chef Eckhard Schöbel an.

Chip-Wafer im Wert eines Eigenheims

Die AIS bereite in diesem Zuge software-gestützte Automatisierungslösungen für die künftigen 450-mm-Fabriken vor. „Schon ein 300-mm-Wafer hat nach der Fertigstellung oft den Wert eines Eigenheims. Da können Sie sich vorstellen, welche Anforderungen an die Prozesssicherheit bei den 450-Millimeter-Scheiben gestellt werden“, sagte Schöbel.

Umstieg auf 450-mm-Scheiben startet in „ein, zwei Jahren“
Eckhard Schöbel. Abb.: AIS

Eckhard Schöbel. Abb.: AIS

In Albany in den USA habe er bereits eine Pilotlinie für die neue Technologie besichtigt, so Schöbel. Er rechne damit, dass die ersten Halbleiterhersteller in den nächsten ein bis zwei Jahren mit der Umrüstung auf 450-mm-Technik beginnen werden. „Da werden wir mit dabei sein“, kündigte er an.

Start 1990 mit acht Mitarbeitern – jetzt sind es 170

Die AIS entstand 1990 mit acht Mitarbeitern in Dresden und spezialisierte sich zunächst auf Computerprogramme für Maschinensteuerungen. Mit dem Wiederaufschwung der Mikroelektronik in Dresden stieg die AIS in die Fabrik-Automatisierung in der Halbleiter- und Solarindustrie ein. Bisher hat das Unternehmen nach eigenen Angaben weltweit rund 60 Werke automatisiert. Außerdem entwickelt die Firma Automatisierungslösungen für Rangierbahnhöfe.

2008 wurde die AIS vom Hohenstein-Ernstthaler Solaranlagenhersteller „Roth & Rau“ gekauft, der inzwischen selbst von der Schweizer „Meyer Burger“-Gruppe übernommen wurde – in Schöbels Augen ein Vorteil für die Dresdner, die damit Zugriff auf das internationale Niederlassungsnetz der Schweizer bekommen.

„Solar ist derzeit eine Katastrophe“

Inzwischen beschäftigt die AIS in Dresden 150 Mitarbeiter und 20 weitere im Ausland. Im Jahr 2011 erwirtschaftete das Unternehmen einen Umsatz von 15,6 Millionen Euro, 200.000 Euro weniger als im Vorjahr. Für 2012 seien ähnliche Umsätze zu erwarten. Schuld an der Stagnation habe vor allem der Auftragsrückgang aus der Photovoltaik-Branche, schätzte Schöbel ein. „Das Geschäftsfeld ,Solar’ ist derzeit eine einzige Katastrophe“, sagte er. „Wir haben von dort jetzt viele Mitarbeiter in die Halbleitersparte versetzt – dort ist die Marktsituation super.“ Heiko Weckbrodt

Zum Weiterlesen: Sachsen punktet im Standortwettbewerb

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