Konferenz „ALD 2016“ mit starker Dresdner Beteiligung

Dublin, 21. August 2016. Wie immer dünnere Atomlagen in Computerchips und anderen Systemen aufgebracht und dabei neue Materialien verwendet werden können, darüber haben über 800 internationale Experten aus Wissenschaft und Industrie dieser Tage in Dublin diskutiert. Die „ALD 2016“ ist die größte Konferenz im Technologiefeld der Atomlagen-Abscheidung (ALD = „Atomic Layer Deposition“). Die Leitung hatten diesmal Dr. Simon Elliott vom irischen „Tyndall National Institute“ und Dr. Jonas Sundqvist von der schwedischen „Lund University“ und vom Dresdner Fraunhofer IKTS übernommen.

Organische und anorganische Moleküle kombinieren

Viele Beiträge kamen auf der Konferenz auch aus Dresden. Die sächsischen Forscher berichteten beispielsweise darüber, wie sich auch organische und anorganische Moleküle in solchen dünnen Schichten kombinieren, wie sich 3D-Chips oder Nanodrähte erzeugen oder sich Karbonmoleküle in Karbon einbringen lassen.

Forschungsverbund „ALD Lab Saxony“ in Sachsen

Dresden gilt als ein bedeutender Technologie-Standort in Europa. Unter dem Dach des Mikroelektronik-Forschungsverbundes „Cool Silicon“ haben sich im „ALD Lab Saxony“ elf Institute von Fraunhofer, der Technischen Universitäten Dresden, Chemnitz und Freiberg sowie der FH Zwickau zusammengeschlossen. Sie wollen in diesem Laborverbund die Atomlagen-Abscheidung technologisch weiterentwickeln. hw

Mitglieder im ALD Lab Saxony:

• TU Dresden / IHM – Technische Universität Dresden /  Institute for Semiconductors and Microsystems (Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik), Dresden

• NaMLab – Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH, Dresden

• Fraunhofer IPMS-CNT – Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems – Center Nanoelectronic Technologies (Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme – Center Nanoelectronic Technologies), Dresden

• Fraunhofer ENAS – Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems (Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme), Chemnitz

• Fraunhofer IKTS – Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and System (Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme), Dresden

• Fraunhofer FEP-COMEDD – Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology (Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl und Plasmatechnik), Dresden

• FH Zwickau / LIAN – University of Applied Sciences Zwickau (Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik), Zwickau

• IFW Dresden – Leibniz Institute for Solid State and Materials Research (Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung), Dresden

• TU BA Freiberg / IAP – TU Bergakademie Freiberg / Institute of Applied Physics (Institut für Angewandte Physik), Freiberg

• TU Chemnitz / ZFM – Technische Universität Chemnitz / Center for Microtechnologies (Zentrum für Mikrotechnologien), Chemnitz

• TU Chemnitz / Physical Chemistry – Technische Universität Chemnitz / Institute of Chemistry, Chemnitz

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