EUV-Chipmaske oder Elektronenstrahl – wo liegt die Zukunft? Abb.: AMTC
Anteilseigner Globalfoundries und Toppan haben weitere 100 Millionen Euro investiert
Dresden, 9. April 2018. Das Dresdner Chipmasken-Zentrum AMTC ist für dessen Anteilseigner, den US-Halbleiterhersteller Globalfoundries und das japanisch-stämmige Unternehmen Toppan Photomasks, eine „Erfolgsgeschichte“. Beide Seiten haben deshalb nun beschlossen, das gemeinsame Unternehmen (Joint Venture) in den nächsten Jahren fortzuführen. Erst im Jahr 2017 hatten die Gesellschafter noch mal 100 Millionen in das Dresdner Zentrum investiert, das nun weiter wachsen soll.
Ursprünglich ein Joint Venture von Infineon, AMD und DuPont
Ursprünglich hatten der Prozessor-Hersteller AMD, der deutsche Chipkonzern Infineon und DuPont Photomasks das „Advanced Mask Technology Center“ (AMTC) im Jahr 2002 gegründet. Nach dem Verkauf des Dresdner AMD-Chipwerkes, Umstrukturierungen bei DuPont und der Pleite der Infineon-Tochter Qimonda wurden letztlich 2009 Globalfoundries und Toppan die Gesellschafter des Joint Ventures. Heute liefert das Zentrum seine Chip-Masken einerseits an die Globalfoundries-Fabriken in Dresden, New York und Singapur, andererseits weltweit an Toppan-Kunden. Insgesamt haben die wechselnden Gesellschafter seit der AMTC-Gründung rund 600 Millionen Euro in das Zentrum investiert, um es immer wieder auf den neuesten technischen Stand zu bringen.
Masken sind Schlüsselzulieferungen für die Chipproduktion
Diese erheblichen Investitionen erklären sich auch daraus, dass das AMTC eine Schlüsselkomponente für die Chipproduktion entwickelt und produziert: jene Belichtungsvorlagen (Masken), die den kompletten Schaltplan eines Prozessors oder eines anderen elektronischen Bausteins enthalten. Diese Masken werden in den Chipwerken über Siliziumscheiben (Wafer) platziert. Fällt Licht durch diese Masken auf den Wafer, entstehen darauf zahlreiche Schaltkreis-Abbilder auf lichtempfindlichem Lack. Diese „Zeichnungen“ auf dem Silizium wiederum geben vor, wo die nachfolgenden physikalischen und chemischen Prozesse die Leiterbahnen, Speicherzellen, Rechenwerke und anderen winzig kleinen Bauteile der Chips erzeugen.
Chip-Maske aus dem AMTC Dresden. Abb.: AMTC
Bei 14 Nanometer angelangt
Inzwischen lassen sich mit diesen Halbleiter-Masken aus Dresden auch Chipstrukturen erzeugen, die nur noch wenige Nanometer (Millionstel Millimeter) groß sind. „Mittlerweile bewegen wir uns jenseits der 14-Nanometer-Grenze“, betonte AMTC-Generalmanager Thomas Schmidt. „Wir freuen uns sehr über die Fortführung des Joint Ventures als Bestätigung dieser Erfolgsgeschichte.”
AMTC heuert neue Leute an
Dabei soll auch neue Kollegen helfen: Derzeit beschäftigt das AMTC reichlich 250 Ingenieure und andere Spezialisten. Inzwischen sucht das Zentrum weitere Mitarbeiter, darunter Produktionstechniker, Schichtleiter, Projektmanager und Metrologen.
Autor: Heiko Weckbrodt
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