Alle Artikel mit dem Schlagwort: Metrologie

Elektronenstrahl-Metrologiegeräte von Applied Materials im Reinraum des Fraunhofer-IPMS in Dresden. Foto: IPMS

Europäisches Zentrum für Chip-Messtechnik in Dresden eröffnet

Fraunhofer und Applied Materials schnüren wichtigen Knoten für Halbleiter-Metrologie im „Silicon Saxony“ Dresden, 17. Juli 2023. Um die Forschung und Entwicklung neuer Mikroelektronik in Europa voranzubringen, haben das Fraunhofer-Photonikinstitut IPMS und der Chipwerk-Ausrüster „Applied Materials“ (AM) in Dresden ein „Europäisches Technologiezentrum für Halbleiter-Messtechnik“ eröffnet. Es handele sich dabei um „eines der größten Technologiezentren für Halbleitermetrologie und Prozessanalyse in Europa“, schätzen die IPMS-Forscher ein.

Mit Spezialmikroskopen ähnlich diesem wollen die Dresdner Nanoanalytiker tief in die atomare Welt eindringen. Foto: Carl Zeiss

Expertenkonferenz in Dresden über Messgrenzen in Nanoelektronik

Nobelpreisträger Klaus von Klitzing spricht auf Tagung Dresden, 8. April 2015: Auch wenn man es auf den ersten Blick kaum glauben mag: Physik und die Smartphones in unser aller Taschen hängen eng miteinander zusammen. Denn um die praktischen Computertelefone mit jeder neuen Generation mit immer mehr Funktionen, Speicher und Rechenkraft zu versehen, versuchen Forscher und Ingenieure, die physikalischen Grenzen der Mikroelektronik immer weiter hinauszuschieben. Inzwischen messen die kleinsten Strukturen im Computerchips nur noch 14 Nanometer (nm = Millionstel Millimeter) und sie noch weiter zu miniaturisieren, fällt der Industrie immer schwerer. Rund 125 Forscher, Industrie- und Regierungsvertreter wollen sich daher ab Montag auf einer internationalen Konferenz in Dresden über diese Mess- und Analysegrenzen für moderne Nanoelektronik austauschen. Erwartet wird als Referent auch der deutsche Physik-Nobelpreisträger Klaus von Klitzing, der in Dresden über Kunst des Messens (Metrologie) in dieser Nanowelt reden wird.