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Tekscend will in Dresden Chipmasken-Produktion für Europa ankurbeln

AMTC-Chipmaske. Foto: Globalfoundries Dresden
AMTC-Chipmaske. Foto: Globalfoundries Dresden

Maskenzentrum AMTC mit innovativen Elektronenstrahl-Schnellschreibern aufgerüstet

Dresden, 13. November 2024. Weil „Tekscend Photomask“ damit rechnet, dass die Mikroelektronik-Industrie in Sachsen und an anderen führenden Halbleiter-Standorten in Europa in den nächsten weiter wachsen werden, rüstet das japanische Technologie-Unternehmen sein Chipmasken-Werk in Dresden auf. Dafür haben Tekscend Photomask Germany und das Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden nun Europas ersten Multi-Elektronenstrahlschreiber in der sächsischen Landeshauptstadt installiert.

Schreibzeit verkürzt sich von Tagen auf Stunden

Die neuartige Anlage stammt von der österreichischen Firma „IMS Nanofabrication“, deren Vorgänger schon zu DDR-Zeiten mit dem Mikroelektronik-Standort Dresden kooperiert hatten. Die „MBMW-100 Flex“ soll die Produktionszeit für Chipmasken mit komplexen Halbleiterdesigns drastisch verkürzen: von mehreren Tagen auf sieben bis zwölf Stunden. „Die Installation dieser bahnbrechenden Technologie ist auch ein entscheidender Schritt in Europas Streben nach verbesserter Halbleiterkapazität“, schätzen die Manager von „Tekscend Photomask Germany“ (ehemals Toppan) ein.

Der österreichische Multi-Elektronenstrahl-Schreiber für Chipmasken. Foto: IMS Nanofabrication
Der österreichische Multi-Elektronenstrahl-Schreiber für Chipmasken. Foto: IMS Nanofabrication

„Wendepunkt für die Halbleiter-Resilienz des Kontinents“

„Die Installation des ersten ,Multibeam Mask Writer’ Europas in unserem Werk in Dresden ist ein Wendepunkt für die Halbleiter-Resilienz des Kontinents“, erklärt Präsident Adrian Phillips von Tekscend Photomask Europe. „Sie stellt sicher, dass Europa weiterhin ein weltweit führender Anbieter von fortschrittlicher Chip-Technologie bleibt.“

Maske dient als Belichtungsvorlage in Chipfabriken

Hintergrund: Bevor ein neuer Prozessor, Speicherchip oder anderer Schaltkreis hergestellt werden kann, entwerfen Chipdesigner zunächst am Computer die Bauelemente, Leiterbahnen und Funktionsebenen. Elektronenstrahl-Schreiber erzeugen aus diesen Entwürfen dann Chipmasken. Die dienen dann für die teuren Lithografie-Anlagen in den Halbleiterfabriken als Belichtungsvorlagen, um die Schaltkreis-Strukturen auf Siliziumscheiben (Wafer) zu übertragen. Da heutige Chips meist aus mehreren Ebenen bestehen, werden auch immer ganze Masken-Sätze gebraucht.

AMTC entstand 2002 als Gemeinschaftsunternehmen

Im Dresdner Norden haben sich dafür führende Unternehmen angesiedelt: Das AMTC wurde 2002 als Gemeinschaftsunternehmen von Infineon (später Qimonda), AMD und Dupont Photomasks gegründet. Nach der Qimonda-Pleite und dem Rückzug von AMD aus Sachsen sprang Globalfoundries Dresden als Anteilseigner ein. Aus Dupont Photomasks wiederum wurde erst „Toppan Photmasks“, die sich im November 2024 wiederum in „Tekscend Photomask“ umbenannt hat. Das AMTC kümmert sich um die Entwicklung neuer Maskentechnologien und Masken. Außerdem stellt mit seinen rund 320 Beschäftigten selbst auch optische und Extrem-Ultraviolett-Chipmasken (EUV) her. Das Zentrum sieht sich selbst als technologisch führendes Maskenhaus in Europa. Außerdem hatte Dupont Photomasks ab 2002 auch mit dem Aufbau einer benachbarten Chipmasken-Fabrik begonnen – auch die ist inzwischen an „Tekscend Photomask“ übergegangen.

Masken-Hersteller rechnen wegen Standort-Ausbau mit wachsender Nachfrage

Wegen der zahlreichen Besitzerwechsel und der wechselhaften Nachfrage am Standort hat auch das AMTC sein Profil in den vergangenen zwei Dekaden immer wieder anpassen müssen. Mit Blick auf das „Europäische Chipgesetz“ sowie die jüngsten Milliardeninvestitionen von TSMC, Infineon & Co. in Dresden, aber auch in Frankreich und an anderen Standorten geht Anteilseigner „Tekscend Photomask“ nun offensichtlich von einer spürbar steigenden Chipmasken-Nachfrage in Europa und speziell auch in Sachsen aus.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: Tekscend Photomask Germany, Infineon, Oiger-Archiv, Wikipedia

Repro: Oiger, Original: Madeleine Arndt

Heiko Weckbrodt

[caption id="attachment_177887" align="aligncenter" width="155"]Heiko Weckbrodt. Foto: Katrin Tominski Heiko Weckbrodt. Foto: Katrin Tominski[/caption] Heiko Weckbrodt war 16 Jahre als Redakteur bei den "Dresdner Neuesten Nachrichten" tätig und betreute dort neben anderen Themen die Schwerpunkte Wirtschaft, Technologieunternehmen und Forschung sowie die Computerseite. Studiert hat er Publizistik und Geschichte mit dem Fokus DDR-Wirtschaftsgeschichte. Inzwischen ist er als freiberuflicher Journalist tätig und publiziert vor allem auf der Nachrichtenplattfom "Oiger", schreibt aber gelegentlich auch für andere Magazine und Publikationen. Lieblingsbeschäftigung: Lesen! Privat schreibt er über seine Ausflüge auf dem Blog "Reise-Oiger". Heiko Weckbrodt ist Autor der Sachbücher

Profile

Kurzvita:

•  Geboren 1970 • 1991-96 Studium der Geschichte und Publizistik an der Freien Universität Berlin • 1990-1997: zunächst nebenberuflich, später als Vollzeitjob freier Journalist (u. a. Siegener Zeitung, Sächsische Zeitung, Dresdner Neueste Nachrichten) • 1999-2000 Volontariat bei den Dresdner Neuesten Nachrichten • 2000-2014: Redakteur bei den Dresdner Neuesten Nachrichten (u.a. Gerichtsreporter, Sozialpolitik, Wirtschaft, Forschung) • seit 2015: freiberuflicher Journalist und Herausgeber des Nachrichtenportals Oiger