Nanoelektronik-Zentrum CNT Dresden ausgezeichnet
Finnische „Chipmetrics“ würdigt Arbeit der Fraunhofer-Ingenieure an Ferroelektrik-Chipschichten
Dresden/Helsinki, 26. August 2024. Für seine Forschungen an ferroelektrischen Chips, die mit wenig Stromverbrauch Daten auf lange Zeit speichern, bekommt das Dresdner Fraunhofer-Zentrum für nanoelektronische Technologien (CNT) den diesjährigen „Academia“-Preis der finnischen „Chipmetrics Oy“. Das teilte die Messtechnik-Firma heute in Helsinki mit.
Präzise Messtechnik ist für dünne Schichten das A und O
Mit der Auszeichnung würdigt das Unternehmen besondere Forschungs-Leistungen in der Atomlagen-Abscheidung (ALD) insbesondere in der Mikroelektronik. Beim diesjährigen Preisträger, dem CNT, stand vor allem die Erst-Eichung beziehungsweise Konformitäts-Prüfung von Messgeräten für ferroelektrische ALD-Dünnschichten im Fokus.
„Unser Team ist bestrebt, Materialien für ferroelektrische Technologien weiterzuentwickeln, von der Materialabscheidung und -entwicklung über die Charakterisierung bis hin zur Anwendung“, erklärte CNT-Forscherin Jennifer Salah Emara. Dabei setze das Kollektiv auf Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) und die Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (ToF-SIMS) „Beide Analysetechniken ermöglichten eine ergänzende und eingehende Analyse der Materialbildung.“
Chipmetrics-Chef: Atomlagen-Abscheidung spielt für 3D-Chips wachsende Rolle
„Mit unserem globalen Wettbewerb wollen wir die Bedeutung der ALD-Dünnschicht-Konformitätsforschung für die beschleunigte Entwicklung fortschrittlicher 3D-Halbleiterprozesse zeigen“, ergänzte Chipmetrics-Chef Mikko Utriainen. „Wir wird weiter nach neuen Wegen suchen, um Forscher einzubeziehen.“
CNT war früher Gemeinschaftsunternehmen von Qimonda AMD und Fraunhofer
Das CNT entstand 2005 als privat-öffentliches Gemeinschaftsunternehmen von Fraunhofer, Infineon und AMD. Spezialisiert war es unter anderem auf Highend-Technologien für Speicherchips. Nach der Qimonda-Pleite gliederte die Fraunhofer-Gesellschaft das Zentrum in ihr Dresdner Photonikinstitut IPMS ein. Als Alleinstellungsmerkmal in Deutschland gilt die industrienahe Mikroelektronik Forschungsfabrik des CNT, die 300 Millimeter große Siliziumscheiben (Wafer) mit ähnlichen Anlagen bearbeiten kann wie moderne Chipfabriken.
Nutzer dieser Pilotfabrik sind auch skandinavische Mikroelektronik-Firmen, die daheim solche 300-mm-Fabs nicht zur Verfügung haben. Dazu gehören unter anderem die schwedischen „Alixlabs“ von Jonas Sundqvist.
CNT hat seine Pilotfabrik ins Ceasax verlagert
Diese 300-mm-Anlagen des Nanoelektronik-Zentrums standen ursprünglich in den Infineon-Reinräumen in Dresden, wurden wegen der Infineon-Expansion aber inzwischen in die ehemalige Digitalpapier-Fabrik von Plastic Logic verlagert. Dort soll das CNT schrittweise erweitert werden und mit dem 3D-Chip-Zentrum „Assid“ nach und nach zum „Fraunhofer Center for Advanced CMOS & Heterointegration Saxony“ (Ceasax) zusammenwachsen. Schwerpunkt-Forschungsthemen sind dort unter anderem Auftragsprojekte für Globalfoundries Dresden, neuronale Elektronik, Quantenchip-Technologien, Chiplets und eben die erwähnten ferroelektrischen Speicher.
Autor: Heiko Weckbrodt
Quellen: Chipmetrics Oy, Staatsbetrieb für Mess- und Eichwesen Sachsen, Oiger-Archiv, Fraunhofer-IPMS, Wikipedia, Fraunhofer-IMWS, Ceasax
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