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Zeiss-Kombinat wollte zum Anbieter ganzer Chipfabriken aufsteigen

Auch das Kombinat Carl Zeiss Jena spezialisierte sich zunehmend auf Ausrüstungen für die Chipproduktion. Hier ein Blick auf ein Exponat der "CoolX"-Ausstellung in Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt

Auch das Kombinat Carl Zeiss Jena spezialisierte sich zunehmend auf Ausrüstungen für die Chipproduktion. Hier ein Blick auf ein Exponat der „CoolX“-Ausstellung in Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt

Aufträge kamen aus Schwellenländern und Ostblock – doch im Westen konnte Staatsbetrieb nicht gegen Meißner + Wurst punkten

Jena/Dresden, 5. Juli 2024. Obwohl das DDR-Technologiekombinat Carl Zeiss Jena ohnehin Mühe hatte, auch nur die Pilotfabrik für 1-Megabit-Speicherchips in Dresden mit den nötigen Hightech-Fertigungsanlagen auszurüsten, wollte Generaldirektor Wolfgang Biermann 1987 gleich am ganz großen Rad drehen: Der staatliche Optikbetrieb sollte ein globaler Anbieter von schlüsselfertigen kompletten Chipfabriken werden – und damit Branchenriesen wie dem westdeutschen Ausrüster „Meißner + Wurst“ (heute: „Exyte“ genannt) Konkurrenz machen.

Russische Industrie zeigte Interesse

Trotz erster Vertragsabschlüsse durchkreuzten jedoch Embargos und letztlich der Untergang der DDR diese ehrgeizigen Pläne. Tatsächlich sei es den ostdeutschen Zeissianern gelungen, erste Aufträge für komplette Chipfertigungslinien aus der Sowjetunion sowie aus Schwellenländern an Land zu ziehen, berichtet Hermann Marsch, der damals den Vertrieb und dann die Produktion dieser Chipfabrik-Ausrüstungen im Jenaer Stammbetrieb geleitet hatte, im Oiger-Gespräch.

Auch Baukapazitäten fehlten für „schlüsselfertige“ Fabs im Ausland

„Womöglich hätten wir mit etwas mehr Zeit mit diesem Konzept auch wirklich in der Sowjetunion und im ganzen Ostblock Fuß fassen können“, schätzt Marsch ein. Auch für Schwellenländer hätte die DDR durchaus das technologische Niveau und die Expertise gehabt, um letztlich auch komplette Fabriken zu liefern. „Im Westen hätten wir wohl keine Chance gehabt.“ Dazu sei der technologische Rückstand der DDR-Zulieferer noch immer zu groß gewesen, viele Anlagen hätten zudem aus dem Westen zugekauft werden müssen, weil sie kein ostdeutscher oder sowjetischer Betrieb herstellen könnte. „Und nicht zuletzt fehlten uns auch die Baukapazitäten im Ausland.“

Ausrüstungen sollten eigentlich 50:50 aus DDR und Sowjetunion kommen – doch daraus wurde nichts

Hintergrund des ambitionierten Vorstoßes: Für ihr ehrgeiziges Mikroelektronik-Aufholprogramm wollten die ostdeutschen Wirtschafslenker ursprünglich die benötigten Chipfabrik-Anlagen („Technische Spezialausrüstungen“) je zur Hälfe aus DDR-Eigenproduktion und aus der Sowjetunion verwenden. Dieser Plan scheiterte jedoch rasch an der realsozialistischen Wirtschaftswirklichkeit: Die Russen konnten nun einen kleinen Teil der vereinbarten Anlagen liefern und wenn doch, dann funktionierten die meist eher schlecht als recht. Auch die DDR selbst kam rasch an ihre Grenzen mit der Entwicklung und Produktion von Ionenimplantern, Lithografiemaschinen, Sputtern und anderen anspruchsvollen Anlagen für die Chipproduktion. Und so verschoben sich die Bezugsquellen immer mehr gen Westen, als sich das „Zentrum Mikroelektronik Dresden“ (ZMD) dem Prestigeprojekt näherten, einen eigenen DDR-Megabit-Speicherschaltkreis zu fertigen.

Da ist die Freude groß: 1988 drückt Carl-Zeiss-Jena-Chef Wolfgang Biermann (Mitte) Erich Honecker den Megabit-Chip in die Hand. Abb.: ZMD-Archiv

1988 drückte Carl-Zeiss-Jena-Chef Wolfgang Biermann (Mitte) Erich Honecker den Megabit-Chip in die Hand. Abb.: ZMD-Archiv

Nachdem Biermann das Projekt samt ZMD und anderer Schlüsselbetriebe an sich gerissen hatte, gelangen zwar Fortschritte – doch die Komplexität moderner Chipausrüstungen stellten den VEB Elektromat, VEB Hochvakuum und anderer Zulieferer und wiederum deren Zulieferer vor ernste Herausforderungen. Letztlich mussten Stasi, Kommerzielle Koordinierung (Koko) und die staatlichen Außenhandelsbetriebe etwa 70 Prozent der Anlagen für die Megabit-Chiplinie aus dem „Nichtsozialistischen Wirtschaftsgebiet“ (NNSW besorgen, der Rest kam zum größeren Teil aus der DDR und zum kleineren Teil aus der Sowjetunion, schätzt Marsch ein.

Aufwendig entwickelte Ausrüstungen sollten sich in harter Währung rentieren

Dennoch wollte Kombinats-General Biermann nicht, dass die nun einmal aufwendig in der DDR entwickelten Elektronenschreiber und anderen Geräte nur für dieses eine Projekt verwendet werden: Sie sollten durch eine Serienproduktion und möglichst auch Devisenerlöse für langfristige Erträge sorgen. Und eben dies sollte unter anderem durch die Idee gesichert werden, auf dem Weltmarkt als Generalauftragnehmer für komplette Halbleiterfabriken aufzutreten.

Aufträge kamen aus Iran, Algerien, Brasilien und Russland

Und bald stellten sich auch erste Erfolge ein: Zeiss bekam, teils vermittelt über andere Unternehmen, die bereits in Schwellen- und Ostblock-Ländern tätig waren, mehrere Aufträge. So wollte beispielsweise der Iran eine alte Grundig-Fabrik in Teheran so modernisieren, dass sie Bipolar-Transistoren für Fernseher herstellen kann. Die Basistechnik dafür sollte aus Frankfurt/Oder kommen, Zeiss sollte sich um die Ausrüstungen kümmern. Die Universität Algier bestellte in der DDR eine Mikroelektronik-Fertigungsstecke für ein Labor, die Uni Brasilia eine ähnliche Linie für die Ausbildung von Studenten. Die Chinesen wollten zwar keine komplette Fabrik, interessierten sich aber für die Elektronenstrahl-Belichter des Typs ZBA von Zeiss. Hinzu kamen mehrere Aufträge aus der Sowjetunion, unter anderem für ein Werk für Automobilelektronik. „Gerade der Bedarf aus Russland war recht groß“, erinnert sich Marsch.

Wende beerdigte das neue Geschäftsfeld

Mehrere dieser Projekte wurden auch tatsächlich noch angefangen – bis zu Ende realisiert aber keines davon. Dabei hätte es durchaus realistische Chancen für diese neue internationale Geschäftsfeld des Kombinats gegeben, ist Hermann Marsch überzeugt: „Damals gab es in der DDR durch verschiedene Projekte, die man im High-Tech verwirklicht hatte, durchaus Erfahrungen, zum Beispiel international als Generalunternehmer zu arbeiten, westliche Sub-Unternehmer mit einzubinden“, argumentiert er. Unter den damaligen Bedingungen, wie  Barter-Bezahlungen, übergeordnete politische Entscheidungen, Embargovorschriften et cetera sei es für eine Reihe von Partnern durchaus interessant gewesen, von der DDR einzukaufen oder Projekte von der DDR realisieren zu lassen. „Es gab einen guten Markt dafür“, meint Marsch. „Deswegen nun M+W und das Zeiss-Kombinat auf eine Stufe stellen zu wollen und dann zu belächeln, spiegelt die Situation nicht wider.“

In Jena führen bis heute Hightech-Firmen die damaligen Entwicklungen fort

Letztlich bremste die Wende dann all diese Vorhaben aus: Das Kombinat Carl Zeiss Jena und auch der VEB Elektromat Dresden, der vor allem fürs ZMD viele Ausrüstungen entwickelt hatte, wurden in der Folge abgewickelt. Dennoch hatten ein paar der damaligen Entwicklungen für die DDR-Mikroelektronikindustrie auch nach dem politischen und wirtschaftlichen Umbruch in Ostdeutschland Bestand.

Elektronenstrahl-Anlage von Vistec - eine ähnliche, aber modernene Anlage installiert das Unternehmen bei Jenoptik Dresden. Foto: Vistec (Pressefoto)

Elektronenstrahl-Anlage von Vistec. Foto: Vistec (Pressefoto)

Ein Beispiel ist das Jenaer Unternehmen „Vistec Electron Beam“, das bis heute als wichtiger Lieferant für Elektronenstrahl-Schreiber gilt. Und die werden wiederum beispielsweise für die Produktion von Chipmasken, aber auch von Mikrooptiken gebraucht. Auch Jenoptik ist aus dem Zeisskombinat hervorgegangen und hat sich als Ausrüster unter anderem für Mikrooptiken für die Halbleiterproduktion etabliert.

Spezialspiegel von Zeiss für die EUV-NA-Belichter von ASML. Foto: Zeiss SMT

Spezialspiegel von Zeiss für die EUV-NA-Belichter von ASML. Foto: Zeiss SMT

Und nicht zuletzt ist Zeiss Oberkochen – nicht zu verwechseln mit dem Kombinat Carl Zeiss Jena – nach wie vor ein wichtiger Schlüsselzulieferer, dessen Ausrüstungen in vielen Chipfabriken weltweit im Einsatz sind.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: Auskünfte Marsch, Oiger-Archiv, Vistec e-beam, Heiko Weckbrodt: Innovationspolitik in der DDR

Repro: Oiger, Original: Madeleine Arndt