Mit Ralf Kempe ist ein Wegbereiter der sächsischen Halbleiterindustrie gestorben

In der „Arbeitsstelle für Molekularelektronik Dresden“ war er an der Prozesstechnologie-Entwicklung für die DDR-Chipproduktion beteiligt

Dresden, 15. Dezember 2025, Mit Dr. Ralf Kempe (* 21.05.1927, Chemnitz ✝ 24.04.2025, Görlitz) ist in diesem Jahr einer der Pioniere der sächsischen Mikroelektronik gestorben. Er gehörte ab 1962 zu den ersten und engsten Mitarbeitern von Prof. Werner Hartmann, dem Gründer der „Arbeitsstelle für Molekularelektronik Dresden“ (AME) im Jahr 1961.

Aus der AME entwickelte sich später das „Zentrum Mikroelektronik Dresden“ (ZMD), das wiederum als Nukleus für Europas heute wichtigsten Halbleiterstandort „Silicon Saxony“ gilt. Von Beginn seiner Tätigkeit an erwarb sich Ralf Kempe große Verdienste bei der Schaffung der technologischen Grundlagen und Voraussetzungen für die Entwicklung der Mikroelektronik in Dresden sowie weit darüber hinaus in der gesamten DDR.

Vom Dotierungsspezialisten zum Forschungsdirektor

Exemplarisch für die umfangreiche, aktive und kreative Mitarbeit von Dr. Kempe seien hier nur einige seiner Leistungen und Ergebnisse genannt, die weitreichende Auswirkungen für die Entwicklung des AME bis ZMD sowie anderer Mikroelektronikbetriebe der DDR hatten:

• 1962 wurde er im AME als Gruppenleiter „Dotierung und mechanische Kristallbearbeitung“ eingestellt. 1964 wandelte sich diese Gruppe in eine Abteilung um. Kempe und seine Kollegen richteten das Labor dafür bereits als „Reine Räume“ ein. Er leitete die Entwicklung der entsprechenden technologischen Prozessschritte. Gemeinsam mit Dresdner Betrieben wie Elektromat und Hochvakuum Dresden war er an der Entwicklung und Fertigung von Reinräumen, Laminarboxen und anderen baulichen Ausrüstungen beteiligt. Unter Beteiligung weiterer Betriebe entstanden zudem die erforderlichen technologischen Spezialausrüstungen und Materialien wie Diffusionsanlagen, Dotierungssubstanzen und Reinstquarz.
• 1966: Inbetriebnahme der Labors „Diffusion & Oxydation“ unter Reinraumbedingungen.
• 1966: Aufbau und Inbetriebnahme einer Laborlinie für die Fertigung polierter Siliziumscheiben aus Einkristallen des Spurenmetalle Freiberg (SMF) unter besonderen Reinheitsbedingungen auf der Grundlage einer eigenständig entwickelten Labortechnologie. Die von SMF ursprünglich bezogenen Scheiben wiesen nicht die erforderliche Qualität auf. Alle dafür erforderlichen Ausrüstungen sowie technologischen Spezialmaterialen kamen aus DDR-Betrieben und aus UdSSR-Importen. Mit dieser Eigenproduktion von Siliziumscheiben wurde der AME/ AMD-Bedarf bis zirka 1975 gedeckt.
• 1967: Bildung und Leitung der zentralen Steuerung (LZ) für den schnellen und kontrollierten Durchlauf der Si-Scheiben durch sämtliche technologischen Teilschritte des Bearbeitungsprozesses als ausschlaggebende Voraussetzung für die systematische Entwicklung einer Basistechnologie. Über die LZ erfolgte weiterhin die Anleitung/ Betreuung der Verfahrens- und Schaltkreisentwicklungen.
• 1970–72: Überführung der Labortechnologie zur Herstellung polierter Si-Scheiben nach Freiberg, wo sie im VEB Spurenmetalle Freiberg zur Basistechnologie für die zukünftige Deckung des Scheibenbedarfes aller Halbleiterfertigungen in der DDR wurde.
• 1970 erhält er im Rahmen eines Kollektivs den Nationalpreis Wissenschaft und Technik 2. Klasse.
• 1970-72 überführt die Arbeitsstelle für Molekularelektronik Dresden (AMD) unter seiner Leitung ihre Basistechnologie für die Herstellung Integrierter Schaltkreise, einschließlich des ersten damit entwickelten integrierten Schaltkreises, in das Halbleiterwerk Frankfurt Oder (HFO). HFO startet auf dieser Basis die Fertigung im Jahr 1972. Ausgehend von dieser Basistechnologie entwickelte und fertigte HFO ein großes Sortiment analoger Schaltkreise für Konsumgüter, Medizinelektronik, Gerätetechnik und dergleichen.
• 1970: Mitarbeit an Vorbereitung, Aufbau und Inbetriebnahme des sog. „Blauen Hauses“ des AMD als 1. Versuchsfertigung für integrierte Schaltkreise unter produktionsnahen Bedingungen in der DDR und Überleitung der Basistechnologie aus den AMD-Labors dahin.
• 1971–74: Bereichsleiter Entwicklung.
• 1974–76: kommissarischer Leiter der AMD nach der Abberufung von Prof. Werner Hartmann.
• 1976–80 Stellv. Leiter des Institutes für Mikroelektronik Dresden (IMD) und Direktor für Forschung (Direktorat F).
• 1980: Mit Bildung des Zentrums für Forschung und Technologie der Mikroelektronik Dresden (ZFTM) wird „F“ als eigenständiges Direktorat aufgelöst und Dr. Kempe übernimmt die Koordinierung der Vorlaufforschung Mikroelektronik der DDR zwischen ZFTM, der Akademie der Wissenschaften, Universitäten, Hochschulen und den Betrieben des Kombinates Mikroelektronik Erfurt.
• 1986–90/ 91: Anlässlich der Übernahme des ZFTM in das Kombinat Carl Zeiss Jena wurde das ZFTM aufgelöst. Fortführung der Forschungskoordination im neuen Forschungszentrum Mikroelektronik Dresden (ZMD).
• Ab 1991: Weiterführung dieser Aufgabe im fortbestehenden Zentrum Mikroelektronik Dresden (ZMD) bis zu seiner Pensionierung.

Mit diesem seinem Wirken war Dr. Ralf Kempe ein Wegbereiter, Gestalter und Entwickler der Mikroelektronik in Dresden von den ersten Tagen ihrer Entstehung an. Die Bedeutung dieser vollkommen neuen Technologie reichte weit über das damalige AME bis ZMD hinaus, bis hinein in die verschiedensten Mikroelektronik- und Halbleiterbetriebe der DDR.

Seine umfangreiche und kreative Mitarbeit an der Entwicklung der Mikroelektronik verhalf dieser Technologie zu einer überaus wesentlichen ökonomischen Säule in der DDR und trug insofern mit dazu bei, dass Dresden das „Herz“ eines „Silicon Saxony“ als bedeutendes europäisches Zentrum der Mikroelektronik wurde.

Über den Autor: Dr. Manfred Lisec war langjähriger Kollege und Wegbegleiter von Dr. Kempe. „Bei Herrn Hans Kempe, Sohn von Dr. Kempe, möchte ich mich für die Bereitstellung des Fotos seines Vaters bedanken und bei Herrn Dr. Andreas Kalz für seine wertvollen Hinweise zum Text.“

Quellen:

[1] Silicon Saxony – Die Story, Edition Dresden, 2006

[2] „Arbeitsstelle für Molekularelektronik Dresden“ in: Wikipedia

An Sachsens Chipboom haben viele über Dekaden mitgewirkt

Zum Hintergrund: Kempes Vorgesetzter Werner Hartmann hatte vergleichsweise früh erkannt, dass die Zukunft der Elektronik in der Mikroelektronik und „Integrierten Schaltkreisen“ lag. Das von ihm in Dresden begründete Institut wurde zur Keimzelle des späteren Zentrums Mikroelektronik Dresden (ZMD) – der wichtigsten Entwicklungseinrichtung für Mikroelektronik in der DDR.

Nach der Wende wurde das ZMD zum Nukleus für einen – staatlich forcierten – Aufschwung der Halbleiterindustrie in Sachsen: Indem sie diesen Betrieb am Leben hielt, ermöglichte die sächsische Staatsregierung zahlreiche spätere Großansiedlungen in Dresden, die nicht allein durch Subventionen, sondern auch durch das seit den 1960er Jahren gewachsene Ökosystem und die geschulten Halbleiter-Fachleute vor Ort angezogen wurden. Insofern lässt sich eine Kontinuitätslinie von der Hartmannschen Gründung bis zur Ansiedlung von Siemens Halbleiter, AMD, Bosch, TSMC und anderen Branchengrößen in Dresden ziehen. Und an diesem Erfolg hatten eben nicht nur Jene Anteil, die in der Presse und Öffentlichkeit stark präsent waren, sondern auch Experten wie Ralf Kempe, die am „Chipboom“ in Sachsen mitgewirkt haben.   hw

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