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2. Juni 2021
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An der neuen Atomlagenabscheidungs-Anlage können die DCST-Forscher und -Forscherinnen nun auch atomdünne Metallschichten mit hoher Präzision erzeugen. Foto: DCST

Auch das „Forlab DCST“ an der TU Dresden arbeitet mit modernen Atomlagenabscheidern für die Mikroelektronik-Forschung. Foto: DCST