Schweden forschen an Ätzprozessen für Leistungs-Chips
Alixlabs und Uni Linköping kooperieren bei GaN und InN-Halbleitern
Linköping/Lund/Dresden, 4. Februar 2025. Das schwedische Mikroelektronik-Unternehmen „Alixlabs“ aus Lund und die Uni Linköping wollen an Leistungshalbleitern aus Galliumnitrid (GaN) und Indiumnitrid (InN) forschen. Das hat Alixlabs heute mitgeteilt. Im Fokus stehen dabei die Ablagerungs- und Ätzprozesse für die Chipindustrie.
Parallele Forschungen geplant
„Unser Ziel ist es, unser Forschungsportfolio über die Ätzung hinaus zu erweitern, was die Spezialität von Alixlabs ist“, betonte Chemie-Professor Henrik Pedersen von der Uni Linköping. „Während unserer ersten Forschungsphase haben wir festgestellt, dass wir in unseren Universitätslabors die gleichen Plasma-Ätzgeräte haben wie Alixlabs in seiner Heimatbasis in Lund, was bedeutet, dass wir parallel forschen können.“
Alixlabs rechnet mit neuen Einsatzfeldern für seine Chip-Ätztechnik
Für Alixlabs wiederum eröffnet die Kooperation mit der Uni Chancen, die eigenen Ätz- und Spalt-Technologien über den Einsatz für die Produktion hochintegrierter Silizium-Chips hinaus auch für die Herstellung von Leistungshalbleitern verwendbar zu machen. Die wiederum werden für energiesparende Funktechnik (RF), Solar- und Windparks, Handy-Netzteile, Elektroautos und dergleichen elektrische Geräte und Anlagen gebraucht. „Unser Ziel ist es, Wege zu finden, um unsere Prozesse für die Verwendung in Materialien jenseits von Silizium zu qualifizieren, und wir fanden bedeutende Synergien zwischen unseren Labors in Bezug auf Galliumnitrid und Indiumnitrid“, meint Alixlabs-Chef Jonas Sundqvist. Diese Technologien könnten wiederum dem mit 60 Millionen Euro dotierten „ALL2GaN“-Projekt zugute kommen, das von Infineon Österreich geleitet wird und an dem auch die Schweden beteiligt sind.
Bisher hatte sich Alixlabs vor allem auf Spalt- und Ätzprozesse fokussiert, mit denen sich besonders feine Silizium-Chipstrukturen erzeugen lassen. Diese Technologielinie treiben die Schweden vor allem in Sachsen voran und gründen dafür auch eine eigene Tochtergesellschaft in Dresden.
Autor: hw
Quellen: Alixlabs, All2GaN, Oiger-Archiv
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