Halbleiterindustrie, News, zAufi

Fördergeld für Chipstruktur-Spalter von Alixlabs

Ein Alixlabs-Spezialist spiegelt sich in einem Chip-Wafer. Foto: Alixlabs

Ein Alixlabs-Spezialist spiegelt sich in einem Chip-Wafer. Foto: Alixlabs

2,5 Millionen Schwedische Kronen sollen helfen, neue Mikroelektronik-Technologie weiterzuentwickeln

Lund/Dresden, 3. Juni 2024. Das schwedisch-sächsische Unternehmen „Alixlabs“ bekommt 2,5 Millionen Kronen (rund 220.000 Euro) von der schwedischen Innovationsagentur „Vinnova“. Das hat Alixlabs-Gründer Jonas Sundqvist mitgeteilt. Mit dem Geld will die in Lund und Dresden ansässige Halbleiterfirma ihre Fertigungstechnologien für besonders feine Chipstrukturen weiterentwickeln.

Kombination aus Ätz- und Spaltprozessen

Diese Technologie basiert auf eine Kombination aus Atomlagen-Ätzen (ALE) und einer speziellen Spalttechnik. Dieses „Atomic Layer Etch Pitch Splitting“ (APS) lässt sich laut Alixlabs einsetzen, um beispielsweise eine 40 Nanometer dünne Schaltkreis-Struktur „in zwei Teile mit einem Durchmesser von 10 Nanometern zu spalten – und zwar mit nie dagewesener Präzision, ohne dass man sich auf teure EUV-Lithographiegeräte (Extrem-Ultraviolett) verlassen muss“.

Klein, aber fein: Südschweden gewinnt als Halbleiter-Standort an Gewicht

„Wir sind stolz darauf, in Schweden als wichtiger Innovator anerkannt zu werden, obwohl der schwedische Halbleitercluster im globalen Maßstab von bescheidener Größe ist“, erklärte Sundqvist. „Mit der Hilfe von Vinnova und damit ganz Schweden kommen wir unserem Ziel näher, die fortschrittliche Halbleiterproduktion energieeffizienter und nachhaltiger zu gestalten.“ So ist die südschwedische Grafschaft Schonen (Skåne), zu der auch Lund gehört, inzwischen Mitglied in der von Sachsen initiierten Mikroelektronik-Allianz „European Semiconductor Regions Alliance“ (Esra).

Vorstoß in Nanowelt auch ohne teure EUV-Belichter

Die an der Uni Lund entwickelte Technologie berge großes Potenzial für die europäische Mikroelektronik, ist der in Sachsen lebende Finnen-Schwede Sundqvist überzeugt: „Unsere Produkte werden Halbleitergiganten wie TSMC, Samsung und Intel Möglichkeiten bieten, ihre zukünftigen Produktionsabläufe zu optimieren“, argumentiert er. „Dieselben Produkte ermöglichen es auch denjenigen, die nicht unbedingt auf dem neuesten Stand der Halbleiterproduktion sind, wie UMC, Globalfoundries und Tower Semiconductor, die Fertigung auf kostengünstige Weise voranzutreiben.“

Jonas Sundqvist. Foto: Heiko Weckbrodt

Gründer Sundqvist arbeitete jahrelang in Sachsens Chipindustrie

Sundqvist hatte jahrelang bei Infineon, Qimonda, Fraunhofer und anderen Mikroelektronik-Akteuren in Sachsen geforscht, insbesondere an wegweisenden Ätzverfahren. 2019 machte er sich selbstständig und gründete mit Kollegen der Uni Lund die Firma „Alixlabs“. Die erprobt ihre Technologien bevorzugt in Dresdner Forschungs-Reinräumen, die diese sehr industrienah eingerichtet sind.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: Alixlabs, Wikipedia, Oiger-Archiv, Linedin

Repro: Oiger, Original: Madeleine Arndt