Halbleiterindustrie, News, Wirtschaft, zAufi

Spezial-Wasserversorgung soll Wachstum der Dresdner Chipindustrie sichern

Moderne Chipwerke verbrauchen erhebliche Wassermengen. Foto (bearbeitet, texturiert): Heiko Weckbrodt

Moderne Chipwerke verbrauchen erhebliche Wassermengen. Foto (bearbeitet, texturiert): Heiko Weckbrodt

Freistaat sagt Hilfe zu und verhandelt mit Sachsenenergie und Stadt ein Zukunftskonzept

Dresden, 14. September 2022. Angesichts des hohen Wasserverbrauchs in der Mikroelektronik hat der sächsische Ministerpräsident Michael Kretschmer (CDU) den Dresdnern versprochen, ihnen bei der Wasserversorgung der Stadt und ihrer Betriebe zu helfen. Damit will der Freistaat auch den Ausbau der bestehenden Chipfabriken im „Silicon Saxony“ und weitere Hightech-Ansiedlungen fördern. „Wir werden Sie beim Thema Wasser für den Standort unterstützen“, sagte Kretschmer kurz vor dem ersten Spatenstich für die neue Mikooptiken-Fabrik von Jenoptik in Dresden.

Michael Kretschmer. Foto: CDU-Landesverband Sachsen

Michael Kretschmer. Foto: CDU-Landesverband Sachsen

„Die Staatsregierung ist an verschiedenen Stellen und auf verschiedenen Ebenen in Gesprächen, um die Wasserversorgung für den Freistaat für die kommenden Herausforderungen zu ertüchtigen“, ergänzte Regierungssprecher Ralph Schreiber auf Oiger-Anfrage. „Darunter zählt auch die Wasserversorgung für den Raum Dresden.“ Da die Beratungen dazu aber noch nicht abgeschlossen seien, könne er derzeit keine konkreten Details nennen.

Ähnlich bedeckt hält sich die Wirtschaft: Wieviel Wasser die Dresdner Halbleiterwerke verbrauchen, wollten weder der Versorger „Sachsenenergie“ noch die angefragten Elektronikunternehmen verraten. Sie verhandeln derzeit hinter verschlossenen Türen über ein neues Spezialprozesswassersystem eigens für die Mikroelektronik und verwandte Branchen.

Globalfoundries Dresden setzt vorausschauende Wartung für Reinwasser-Ventile ein. Foto: Globalfoundries

Ventilsystem für die Reinwasserversorgung bei Globalfoundries Dresden. Foto: Globalfoundries

Globalfoundries verdoppelt Produktionsausstoß und braucht mehr Wasser

Von Globalfoundries (GF) war immerhin zu erfahren, dass der Konzern weltweit im vergangenen Jahr rund 26,8 Millionen Kubikmeter Wasser eingesetzt hat. Die Verbräuche der Dresdner Fabrik wollte das Unternehmen jedoch nicht aufschlüsseln. „Durch laufende und geplante Projekte wie der Wiederaufbereitung von Produktionsabwässern und der Modernisierung der Energieversorgungszentren werden wir erhebliche Mengen an Trinkwasser einsparen“, versicherte GF-Sprecherin Karin Raths. „Die Verdoppelung unseres Produktionsausstoßes führt aber dessen ungeachtet zu einer Erhöhung unseres Gesamtbedarfs. Um diesen abzudecken, arbeiten wir zusammen mit unserem Wasserlieferanten an einer Strategie für die Industriewasserversorgung der nächsten Jahre.“

Infineon plant ebenfalls Ausbau und verhandelt mit Stadt sowie Wasserversorger

Infineon Dresden wollte sich zu diesem Thema überhaupt nicht äußern. „Derzeit laufen intensive Gespräche mit der Stadt Dresden und dem Wasserversorger“, begründete dies Standort-Sprecher Christoph Schumacher. „Wir haben uns darauf verständigt, in dieser Phase keine Informationen zu geben.“ Mutmaßen lässt sich allerdings, dass diese Verhandlungen darauf zielen, sich mehr Wasser für den geplanten Ausbau der Infineon-Fabriken im Dresdner Norden zu sichern.

Tagesverbrauch klettert an heißen Tagen um ein Drittel

Dresden und das unmittelbar angrenzende Versorgungsgebiet verbraucht laut Sachsenenergie insgesamt täglich rund 120.000 Kubikmeter Wasser. „An heißen Tagen, wie beispielsweise Ende Juli, sind Spitzenverbräuche von Trinkwasser von rund 160.000 Kubikmetern am Tag möglich“, erklärte Sachsenenergie-Sprecherin Nora Weinhold. Wieviel davon auf die Mikroelektronik entfällt, teilte sie nicht mit.

Neue Brunnen an der Saloppe gebohrt

Die Sprecherin verwies allerdings auf mehrere Projekte, die auch für die Zukunft den Dresdner Wasserbedarf absichern sollen. „Aufgrund der hohen Nachfrage hat die Sachsenenergie auch in diesem Sommer das Talsperrenpumpwerk an der Freitaler Windbergallee in Betrieb genommen“, berichtete sie beispielhaft. „Es sichert den Nachschub für Dresdens größtes Wasserwerk in Coschütz, welches dadurch zum größten im Freistaat wird.“ Die Spezialwasseranlage an der Dresdner Saloppe sei fast fertig. Die dort gebohrten 15 Brunnen sollen für zusätzliche 21.000 Kubikmeter Wasser am Tag sorgen – das Projekt habe sich allerdings durch Corona und Lieferengpässe verzögert.

Spezialprozesswassersystem soll Fab-Ausbau im Raum Dresden absichern

Derweil arbeiten Sachsenenergie und die Hightech-Kunden im Raum Dresden an einer Sonderlösung für die Halbleiterwirtschaft: „Parallel zur Wasserfassung an der Saloppe ist geplant, die Dresdner Halbleiterindustrie perspektivisch über einen eigenes Spezialprozesswassersystem zu versorgen“, informierte Nora Weinhold. „Hierzu befindet sich die Sachsenenergie im Austausch mit der Industrie, dem Freistaat und der Stadtverwaltung. Das System wird notwendig vor dem Hintergrund des geplanten Ausbaus der Halbleiter-Produktionskapazität im Raum Dresden.“ Damit dieser industrielle Ausbau nicht das Trinkwasser für die Bürger aufzehre, sei ein „eigenes zusätzliches Spezialprozesswassersystem“ geplant, „das genau auf die Bedarfe der Industrie zugeschnitten ist“. Zudem gebe es aufwendige Recycling- und Kreislaufsysteme in den Chipwerken selbst, die die Unternehmen beständig ausbauen.

Wassernachschub spielte schon bei Standortsuche von Intel und Tesla eine wichtige Rolle

Neben Subventionen, Fachkräften, Zuliefer-Infrastruktur und Energiezufuhr gilt die Wasserversorgung mittlerweile als ein recht zentrales Kriterium, wenn international agierende Konzerne nach neuen Fabrik-Standorten suchen. Das sorgte beispielsweise beim Tesla-Elektroautowerk in Grünheide für viele Diskussionen. Das Thema Wasser spielte aber dem Vernehmen nach auch bei der jüngsten Standortsuche für Intel-Chipfabriken in Europa eine wichtige Rolle – bei der sich letztlich Sachsen-Anhalt und nicht der Mitbewerber Sachsen durchsetzen konnte.

Ein Bosch-Mitarbeiter mustert einen Siliziumkarbid-Wafer. Foto: Martin Stollberg für Bosch

Ein Bosch-Mitarbeiter mustert einen Siliziumkarbid-Wafer. Foto: Martin Stollberg für Bosch

Chipwerke brauchen Wasser unter anderem für Reinigungsprozesse im Reinraum: Um Schaltkreise auf den Siliziumscheiben (Wafer) zu erzeugen, sind unter anderem auch zahlreiche chemische Prozessschritte nötig. Die Anlagen waschen die dabei verwendeten Chemikalien nach jedem dieser Schritte mit hochreinem Wasser wieder aus.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: M. Kretschmer, SKK, Sachsenenergie, Globalfoundries, Infineon, Oiger-Archiv