Taipeh/Veldhoven, 5.8.2012: Nach Intel steigt nun auch die taiwanesische „TSMC“ milliardenschwer beim niederländischen Chipfabrik-Anlagenhersteller „ASML“ in Veldhoven ein, um den Übergang zu Röntgen-Lithografie (EUV) und 450-Millimeter-Wafer zu forcieren. Wie beide Unternehmen heute mitteilten, erwirbt der weltweit größte Chip-Auftragsfertiger TSMC für 838 Millionen Euro fünf Prozent der ASML-Anteile. Weitere 276 Millionen Euro investieren die Taiwanesen in den nächsten fünf Jahren in das Lithografie-Forschungsprogramm der Niederländer.

Intel ist schon mit im Boot – mit 3,3 Milliarden Euro

Der Deal dürfte den Rest der Branche – die nun fürchten muss, technologisch binnen weniger Jahre in Rückstand zu kommen – gewaltig unter Druck setzen: Erst vor einem Monat hatte der weltweite Branchenprimus Intel angekündigt, 3,3 Milliarden Euro in das Litho-Programm und das Unternehmen ASML selbst zu investieren (Der Oiger berichtete).

Durch die Kapitalspritzen der beiden Großkonzerne haben die Niederländer nun damit schon satte 4,4 Milliarden Euro eingesammelt, um den technologisch aufwendigen und finanziellen teuren Umstieg auf die neuen Chiptechniken zu stemmen. Dabei geht es zum einen darum, Chips künftig mit Ultraviolett-Strahlen (13,5 Nanometer) statt mit Optikapparaturen der Wellenlänge 193 Nanometer zu belichten, um dadurch deutlich feinere Halbleiter zu erzeugen. Zum zweiten steht der Umstieg von 300 auf 450 Millimeter große Silizium-Scheiben (Wafer) an, die die Chipausbeute pro Anlagendurchgang durchaus verdoppeln könnten.

Andere Auftragsfertiger wie TSMC-Konkurrent „Globalfoundries“ hatten sich bisher eher skeptisch zu EUV und 450-mm-Technik geäußert – vor allem mit Blick auf die dabei noch zu überwindenden Hürden. ASML betonte erneut, dass man bis zu 25 Prozent der eigenen Unternehmens-Anteile für Beteiligungen Dritter am EUV- und 3450-mm-Programm reserviert haben. Heiko Weckbrodt

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