Genesis soll Ökobilanz der Mikroelektronik verbessern
Dresdner Fraunhofer-Photonikinstitut übernimmt Chemie-Paket
Dresden, 6. Juni 2025. Um die Umweltbilanz der Chipindustrie zu verbessern, haben Forscher aus Frankreich, Sachsen und ganz Europa das „Genesis“-Programm gestartet. In diesem Zuge wollen sie beispielsweise Alternativen zu womöglich giftigen Chemikalien finden, die Abfälle und Abgase bei der Schaltkreis-Produktion verringern und die europäische Mikroelektronik weniger abhängig von Rohstoff-Importen machen. Darauf hat das Fraunhofer-Photonikinstitut IPMS in Dresden hingewiesen, das die Forschung am „Chemiepaket“ leitet. Die Federführung für das komplette Genesis-Konsortium, das insgesamt 58 Institute und Unternehmen umfasst, hat das französische Halbleiter-Forschungszentrum „CEA-Leti“ übernommen.
Der Fokus in Dresden liegt dabei auf sogenannten „Per- und polyfluorierten Alkylsubstanzen“ (PFAS), die im Verdacht stehen, Krebs zu erzeugen, sowie auf klimaschädlichen Gasen wie Schwefelhexafluorid (SF6) und Stickstofftrifluorid (NF3). Vor allem ein Ersatz für PFAS könnte für die europäische Halbleiterindustrie eine Schlüssel-Innovation, da die EU diese Chemikalien schrittweise verbietet, bisher aber noch kein geeigneter Ersatz für diese produktionswichtigen Stoffe gefunden ist.
„Der achtsame Umgang mit Ressourcen steht im Mittelpunkt unserer Forschung innerhalb des Genesis-Projekts“, sagt IPMS-Projektleiter Dr. Erik Schumann. „Wir konzentrieren uns auf den Ersatz und die Reduktion des Ausstoßes von klimaschädlichen Gasen wie SF6 oder NF3. Diese Gase sind 10.000-fach schädlicher als CO2, werden aber in der Halbleiterindustrie benötigt. Außerdem kümmern wir uns um die Verringerung des Abfalls, der beim chemisch-mechanischen Polieren entsteht.“
Autor: Oiger
Quellen: IPMS, Oiger-Archiv, Wikipedia
Ihre Unterstützung für Oiger.de!
Ohne hinreichende Finanzierung ist unabhängiger Journalismus nach professionellen Maßstäben nicht dauerhaft möglich. Bitte unterstützen Sie daher unsere Arbeit! Wenn Sie helfen wollen, Oiger.de aufrecht zu erhalten, senden Sie Ihren Beitrag mit dem Betreff „freiwilliges Honorar“ via Paypal an:
Vielen Dank!
