Jenoptik startet Mikrooptik-Fabrik in Dresden

Größte Einzelinvestition in der Nachwende-Geschichte des Thüringer Hightech-Unternehmens
Dresden/Jena, 6. Mai 2025. Jenoptik hat heute in Dresden seine neue Reinraum-Fabrik für innovative Mikrooptiken und -sensoren in Betrieb genommen. Die hier hergestellten Bauteile werden für Hightech-Ausrüstungen gebraucht, mit denen Halbleiter-Fabriken weltweit modernste Prozessoren, Speicher und KI-Chips herstellen.
Chef Traeger: Preise steigen, Ressourcen sind knapp
„Wir sind stolz, dass wir diese mit knapp 100 Millionen Euro größte Einzelinvestition der jüngeren Firmengeschichte ‚in time‘ realisiert haben“, betonte Jenoptik-Chef Stefan Traeger zum Fabrikstart. „In dem herausfordernden Umfeld mit stetig steigenden Preisen und knappen Ressourcen ist dies eine hervorragende Leistung.“ Zugleich sei diese Investition ein Bekenntnis des Unternehmens zum Standort Deutschland und zum Silicon Saxony, das längst weit über Sachsen hinausgewachsen ist. „Das ist eine wirklich gute Sache, dass wir hier ein so starkes Netzwerk haben“, sagte Traeger. Dies sei kein Wunder: „Dresden ist heute zweifellos das Zentrum der Halbleiter-Industrie für ganz Europa.“

„Starkes Signal für Innovation und Zusammenarbeit in Silicon Saxony“
Als thüringisch-sächsische Erfolgsgeschichte, deren Wurzeln bis in die Zeit vor 1990 zurückgehen, bezeichnete Sachsens Ministerpräsident Michael Kretschmer (CDU) das Projekt. „Die Eröffnung der neuen Jenoptik-Fabrik in Dresden ist ein starkes Signal für Innovation und Zusammenarbeit in Silicon Saxony“, betonte er. „Dass der weltweit bekannte Jenoptik-Konzern hier nun seine Fertigung von speziellen Mikrooptiken und Sensoren für die Halbleiterausrüstungsindustrie gebündelt hat, bedeutet zusätzliche positive Effekte bei Beschäftigung und Wertschöpfung.“
Schon in DDR-Zeiten enge Verbindungen zwischen Jena und Dresden
Jenoptik gehört zu den Nachfolge-Unternehmen des DDR-Kombinats Carl Zeiss Jena und ist von daher schon seit Jahrzehnten eng mit dem Mikroelektronik-Standort Dresden verbunden. Seit 2007 unterhält das Jenaer Unternehmen eigene Produktionsstätten für Optiken und Sensoren in der sächsischen Landeshauptstadt, die bisher aber über das Stadtgebiet verstreut waren – und insgesamt rund 200 Menschen in Dresden beschäftigen. Mit der neuen Fab zieht Jenoptik nun diese Aktivitäten nach und nach an einem Platz zusammen.
Grundstück mit Ausbaureserven
Im Dresdner Norden hat sich Jenoptik in Sichtweite zu den großen Mikroelektronik-Fabriken von Bosch, TSMC und anderen Mikroelektronik-Akteuren sowie nahe am Flughafen insgesamt rund 24.000 Quadratmeter Fläche gesichert. 60 Prozent dieses Grundstücks sind nun belegt, der Rest ist für künftige Erweiterungen reserviert.
Mit 200 Säulen auf der Lausitzer Granitplatte verankert
Baustart für die neue Fabrik war im Herbst 2022. Damals rammten Bauarbeiter 200 jeweils 20 Meter lange Pfähle in den Boden bis hinab zur Lausitzer Granitplatte, um die empfindliche Mikrooptik-Produktion gegen Erschütterungen abzusichern. Prophylaktisch haben sie auch auf dem Erweiterungs-Grundstück ein paar dieser Säulen versenkt, damit bei einem späteren Ausbau die Fertigung im Reinraum nicht angehalten werden muss. Beim Bau kamen laut Jenoptik Recycling-Materialien zum Einsatz. Vom Dach aus deckt eine Solar-Anlage rund ein Zehntel des Stromverbrauchs für die Fabrik. Zudem legte der Bauherr Wert auf eine energieeffiziente Gebäudehülle sowie eine Anlage zur Kälte- und Wärmerückgewinnung nebst intelligenter Steuerungstechnik. Herzstück der Fab ist der 2000 Quadratmeter große Reinraum – dort entstehen die Mikrosensoren und -optiken unter stark kontrollierten Bedingungen.
Mikrooptiken und Sensoren für Chipfabrik-Ausrüster
Dabei handelt es sich unter anderem um Spezialoptiken und sehr kompakte Sensoren, die für die exakte Positionierung von Chip-Belichtungsmasken gebraucht werden. Im Einsatz sind sie aber auch für die Lithografie-Inspektion und die lasergestützte Materialbearbeitung in der Chipproduktion. Eingebaut werden sie in besonders moderne Ausrüstungen, die mit „tiefen“ und „extremen“ Ultraviolett-Strahlen (DUV und EUV) die Schaltkreis-Strukturen belichten. Über konkrete Kunden und Einsatzorte spricht die Firmenleitung zwar nicht, aber angesichts des Technologieniveaus dürfte darunter der Litho-Marktführer ASML aus den Niederlanden sein.
Autor: Heiko Weckbrodt
Quellen: Jenoptik, Oiger-Archiv

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