Sachsens Forschungsministerin Sabine von Schorlemer, EU-Forschungskommissarin Máire Geoghegan-Quinn und Infineon-Chef reinhard Ploss mit einem Wafer aus der neuen Dresdner 300-mm-Fabrik von Infineon, in der Leistungshalbleiter auf besonders dünnen Scheiben hergestellt werden. Foto: EU
Dresden, 4. Dezember 2012: EU-Forschungskommissarin Máire Geoghegan-Quinn sieht gute Chancen für den Mikroelektronik-Standort Dresden, Hightech-Fördergelder aus dem neuen EU-Programm „Horizon 2020″ zu erhalten. Das erklärte die Kommissarin heute nach einem Besuch von Dresdner Instituten und Technologie-Unternehmen. Sachsens Forschungsministerin Sabine von Schorlemer (parteilos) hofft insbesondere auf Brüsseler Subventionen für innovative Pilotlinien.
Die Kommissarin hatte zuvor das Forschungszentrum Rossendorf, die Organiksolarzellen-Firma Heliatek sowie die Chipwerke von Globalfoundries und Infineon in Dresden besichtigt. Die sei ihr erster Besuch in Sachsen gewesen, erzählte sie – und sie sei beeindruckt. „Sachsens Anstrengungen, sich an die Spitze der modernen Materialwissenschaften und Chip-Fertigung zu setzen, haben sich ausgezahlt“, betonte Geoghegan-Quinn, die aus Irland stammt und damit aus einem „keltischen Tigerstaat“, der mit aktiver Ansiedlungspolitik solche Hightech-Riesen wie Intel an Land ziehen konnte. Sie lobte die hohen Forschungsausgaben in Sachsen, die sechs Prozent der öffentlichen Etats ausmachen, fast doppelt soviel wie im EU-Schnitt.
Hier sei ein europaweit führendes Mikroelektronik-Cluster entstanden, das auch weltweit konkurrenzfähig sei. Sie könne sich eine wichtige Rolle von „Silicon Saxony“ und vor allem der Dresdner Standorte von Globalfoundries und Infineon vorstellen, wenn die EU demnächst ein strategisches Mikroelektronik-Förderprogramm auflege. Eine Voraussetzung dafür sei aber, dass die Mitgliedsländer den EU-Haushalt in der geplanten Höhe finanzieren.
Schlüsseltechnologie-Programm mit 6,7 Milliarden Euro dotiert
Damit dürfte die Kommissarin einen Grund für ihre Visite angerissen haben: Brüssel ringt um eben diesen Punkt mit den EU-Mitgliedern und rührt nun vor Ort die Werbetrommel. Auch passt Geoghegan-Quinns Hightech-Besichtigungsprogramm in die neue Förderstrategie der Kommission. Diese will künftig Schlüsseltechnologien („Key Enabling Technologies“ = KET), die für Europas Weltmarktpositionen entscheidend sind, stärker fördern. Selbst Pilotlinien für innovative Mikroelektronik haben künftig Förderchancen im mit 6,7 Milliarden Euro dotierten „Horizon 2020″-Programm.
Eine Fraunhofer-Mitarbeiterin zeigt im Reinraum einen 300-mm-Wafer (l.) und eine 450er Scheibe im Vergleich. Abb.: Fraunhofer IISB
Auf diesen neuen Fördertopf macht sich in Dresden zum Beispiel das Fraunhofer-Photonikinstitut Hoffnung (Der Oiger berichtete). Zudem steht ein noch größeres Branchenprojekt auf der Agenda: Der Umstieg von 300 auf 450 Millimeter große Siliziumscheiben. Die dafür nötigen enormen Investitionen wollen Intel in den USA und TSMC in Taiwan stemmen – und Europas Halbleiterbranche fürchtet, den Anschluss zu verlieren, wenn nicht Subventionen in ein 450-mm-Werk auf europäischem Boden fließen. Dabei könnten Dresden und das IMEC in Belgien – das bereits an einer 450-mm-Testlinie baut – zu den ersten Standortkandidaten gehören. Heiko Weckbrodt
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