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Die Spiegel-Mikrosysteme des IPMS bestehDie Spiegel-Mikrosysteme des IPMS bestehen aus Dutzenden, oft sogar Hunderten Mini-Reflektoren, die einzeln ausgerichtet werden können. So könnten beispielsweise die Belichtungsstrahlen in der Chipproduktion oder die Datensignale in Glasfasernetzen gelenkt werden. Abb.: IPMSen aus Dutzenden, oft sogar Hunderten Mini-Reflektoren, die einzeln ausgerichtet werden können. Abb.: IPMS