Technologiehochburg Dresden richtet internationale Tagung für Atomlagenabscheidung aus Dresden, 8. März 2023. Als die Russen und Finnen in den 1960er und 70er Jahren die Atomlagenabscheidung – heute als ALD abgekürzt – erfanden, sah das nach einem großen Wurf aus: Damit ultradünne Schichten aus Titan, Alu oder Kristallstrukturen zu erzeugen, erschien universell einsetzbar. Doch das Verfahren erwies sich erst mal als zu langsam, war nur schubweise in speziellen Kammern möglich und setzte sich vorerst nur in der Mikroelektronik durch. Mittlerweile aber haben Ingenieure aus Sachsen, Belgien und anderswo jeweils ganz eigene Drehs gefunden, um die atomgenaue Beschichtung auf Trab zu bringen. Auf der Ausstellungstagung „ALD for Industry“ wollen sie diese innovativen Ansätze am 21. und 22. März 2023 in Dresden näher vorstellen.