Alle Artikel mit dem Schlagwort: Spiegel

Dr. Stefan Braun, Maik Menzel und Peter Gawlitza (v.l.n.r.) vor der Beschichtungsanlage für die Entwicklung von EUV-Reflexionsschichten im IWS Dresden. Foto: Fraunhofer IWS Dresden / Frank Höhler

Fraunhofer Dresden baut Weltrekord-Röntgenspiegel für Chip-Belichter

EUV-Optiken vom IWS reflektieren fast 71 % der Strahlen – für dieses Licht ein Spitzenwert Dresden, 12. Dezember 2015. Fraunhofer-Forscher aus Dresden haben verbesserte Röntgenspiegel für die Chip-Produktion gebaut. Diese Hightech-Spiegel steuern extremes Ultraviolett-Licht (EUV), auch „weiche Röntgenstrahlen“ genannt. Sie werden benötigt, um die Elektronik von übermorgen überhaupt erzeugen zu können. Die neuen EUV-Spiegel aus Dresden stellen neue Weltrekord-Werte in puncto Reflexionsgrad auf, teilte das Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden mit: Die Spiegel werfen nun bis zu 70,75 % der EUV-Strahlen zurück, statt sie zu streuen oder zu verschlucken.

3D-Mikroskop von Zeiss schaut mit Dresdner Spiegelchips Organismen beim Wachsen zu

Dresden/Jena, 26. September 2013: Zeiss hat aus Mikrospiegel-Chips des Dresdner Fraunhofer-Photonikinstituts IPMS ein Lichtblatt-Mikroskop entwickelt, das über Tage hinweg Organismen dreidimensional beim Wachsen zuschauen kann, ohne sie zu zerstören. Das teilten Zeiss Microscopy Jena und das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Dresden mit.