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Der Dresdner Physiker Andreas Steinbrecher war ab 1978/79 an dem Projekt Ionenprojektor im Institut für Mikroelektronik Dresden (IMD) beteiligt. Hier im Foto aus dem Jahr 2023 zeigt er in den Technischen Sammlungen eine der damals verwendeten Masken. Foto: Heiko Weckbrodt

DDR hoffte auf Ionen-Abkürzung in die Nano-Chipwelt

Physiker in Dresden und Wien wollten Ende der 1970er mit der Ionen-Lithografie einen großen Coup in der Mikroelektronik landen Dresden, 4. April 2023. Den ostdeutschen Mikroelektronikern vor der Wende wird oft nachgesagt, sie hätten West-Chips nur nachgebaut, allenfalls etwas verbessert. Tatsächlich aber entwickelten die DDR auch eigene Verfahren für die Halbleiter-Produktion. Ein Beispiel dafür war die Ionen-Lithografie, an der ab Mitte der 1970er Jahre zunächst Experten in Wien und Erfurt arbeiten. 1979 übernahmen dann Mitarbeiter des Instituts für Mikroelektronik Dresden (IMD) die weiteren Arbeiten und kooperierten dabei insgeheim mit Ingenieuren aus Österreich. „Die DDR ist da ganz eigene Wege in der Lithografie-Forschung gegangen“, meint Elektronik-Kustos Dr. Ralf Pulla von den Technischen Sammlungen Dresden, der die Aufarbeitung dieses Kapitels der ostdeutschen Mikroelektronik fachlich mitbetreut. Denn das Konzept war visionär. Allerdings erwies es sich letztlich technologisch und wirtschaftlich als Sackgasse. „Doch so ist das nun einmal mit der Vorlaufforschung“, betont Pulla. „Ob etwas funktioniert, kann man vorher nicht wissen.“