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Der Dresdner Physiker Andreas Steinbrecher war ab 1978/79 an dem Projekt Ionenprojektor im Institut für Mikroelektronik Dresden (IMD) beteiligt. Hier im Foto aus dem Jahr 2023 zeigt er in den Technischen Sammlungen eine der damals verwendeten Masken. Foto: Heiko Weckbrodt

Geschichte Halbleiterindustrie News zAufi

4. April 2023 Heiko Weckbrodt

DDR hoffte auf Ionen-Abkürzung in die Nano-Chipwelt

Physiker in Dresden und Wien wollten Ende der 1970er mit der Ionen-Lithografie einen großen Coup in der Mikroelektronik landen Dresden,

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