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Ein Alixlabs-Spezialist spiegelt sich in einem Chip-Wafer. Foto: Alixlabs

Fördergeld für Chipstruktur-Spalter von Alixlabs

2,5 Millionen Schwedische Kronen sollen helfen, neue Mikroelektronik-Technologie weiterzuentwickeln Lund/Dresden, 3. Juni 2024. Das schwedisch-sächsische Unternehmen „Alixlabs“ bekommt 2,5 Millionen Kronen (rund 220.000 Euro) von der schwedischen Innovationsagentur „Vinnova“. Das hat Alixlabs-Gründer Jonas Sundqvist mitgeteilt. Mit dem Geld will die in Lund und Dresden ansässige Halbleiterfirma ihre Fertigungstechnologien für besonders feine Chipstrukturen weiterentwickeln.

Schweden wollen mit Ätz-Spalttechnik Chipproduktion in Sachsen umkrempeln

Alix Labs aus Lund testet Verfahren nun im Silicon Saxony Lund/Bannewitz, 13. Mai 2021. Ingenieure aus Schweden und Sachsen wollen gemeinsam die Mikroelektronik-Produktion umkrempeln. Dafür hat das schwedische Technologie-Unternehmen „Alix Labs“ ein Verfahren entwickelt, das die Produktion neuester Computerchips mit Strukturgrößen unterhalb von zehn Nanometern (Millionstel Millimeter) stark vereinfachen und verbilligen soll. Dabei geht es auch darum, den Einsatz teurer Belichtungsanlagen mit „Extremer Ultraviolett-Strahlung“ (EUV) zu vermeiden, die etwa 120 Millionen Euro pro Maschine kosten und für die es weltweit nur eine Quelle gibt: ASML aus den Niederlanden. Um auf alternativen Wegen feinste Chipstrukturen zu erzeugen, setzen die Schweden auf eine „Pitch-Splitting-Methode“ (APS) mittels Atomlagen-Ätzen (Atomic Layer Etching, abgekürzt ALE). „Plasway Technologies“ aus Bannewitz in Dresden transferiert dieses Verfahren nun in einen industrienahen Maßstab auf 300 Millimeter großen Siliziumscheiben (Wafer).