TSD-ME-Ausstellung-1-12 Layout-Masken

In der neuen Mikroelektronik-Ausstellung: Dresdner Layout-Masken aus den 1970er Jahren, aus denen noch manuell mit Pinzetten die Stellen herauszwickten, an denen – vielfach verkleinert – später die Chipstrukturen belichtet wurden. Abb. (alle): hw