Sachsen wollen Chips mit schlauen Flüssigkeiten schrubben
Verbundforschungsprojekt Dresden-Leipzig startet Dresden/Leipzig, 24. April 2014: Leipziger Ingenieure und Dresdner Fraunhofer-Forscher wollen „intelligente Flüssigkeiten“ einsetzen, um Chip-Scheiben (Wafer) in
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