Teilchenstrahl statt Maske: Dresdner forschen an Chips vom Elektronenstrahl
Dresden/Grenoble, 9.2.2012: Obzwar bisher immer wieder hinausgeschoben, nähert sich die Chipindustrie doch immer mehr den physikalischen Grenzen herkömmlicher Struktur-Erzeugungstechniken. Das
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