Auf solchen „Novoflex-Anlagen wollen die Fraunhofer-Expertinnen in Dresden Elektroden im Rolle-zu-Rolle. Verfahren mit Silizium beschichten. Foto: Jürgen Lösel für das Fraunhofer-FEP
novoflex® 600 Rolle-zu-Rolle Pilotbandbeschichtungsanlage, auf der der neue Prozess zur Abscheidung kolumnarer Siliziumschichten entwickelt wird