22. Dezember 2022 1000 × 961 Zeiss-ZDI_05 ZDI-Chef Alfred Mönch (links) und Manager Sven Jänicke erläutern das für Globalfoundries realisierte „Heimdall“-Projekt. Im Hintergrund sind „Foups“ genannten Chipscheiben-Transporter zu sehen. Foto: Heiko Weckbrodt