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60 Jahre Mikroelektronik in Dresden „Eine der erstaunlichsten Erfolgsgeschichten der Wiedervereinigung“

Der Physiker und Mikroelektronik-Pionier Werner Hartmann im Jahr 1968. Foto: Hans Becker, Technische Sammlungen Dresden

Der Physiker und Mikroelektronik-Pionier Werner Hartmann im Jahr 1968. Foto: Hans Becker, Technische Sammlungen Dresden

Am 2. Oktober 1961 legte der Physiker Werner Hartmann den Grundstein für Europas größtes Chip-Cluster

Dresden, 2. Oktober 2021: Das Archivbild aus den frühen Tagen der ostdeutschen Mikroelektronik spricht Bände: Ein Mann im weißen Laborkittel stürmt schnellen Schrittes über eine Brache, SED-Parteifunktionäre stolpern unbeholfen hinter ihm her. Ihre Gesichter kann man nicht klar erkennen, doch man ahnt: Ihnen, den sonst so Mächtigen, passt es nicht so recht, hinter diesem Parteilosen herzuhetzen. Der Eilende auf diesem Bild war der Dresdner Physik-Professor Werner Hartmann (1912-1988), der hier vermutlich gerade das Areal inspiziert, auf dem er eine kleine Chipfabrik, das „Blaue Haus“, errichten wollte.

Genau 60 Jahre ist es nun her, dass der Visionär Hartmann am 2. Oktober 1961 die AME in Dresden offiziell in Betrieb nahm. Er legte damit den ideellen Grundstein für den größten Mikroelektronik-Standort in Europa legte, der heute direkt und indirekt rund 80.000 Menschen beschäftigt. Mitstreiter, Historiker, Elektronikforscher und viele andere haben diese Pioniertat und ihre Folgen heute auf Einladung des Fraunhofer-Photonikinstituts IPMS mit einem Symposium „60 Jahre Mikroelektronik in Dresden“ in den Technischen Sammlungen gewürdigt.

"Mein Mann war ein Arbeitstier", erinnert sich seine Witwe Renee Hartmann. Abb.: Archiv R.H.

„Mein Mann war ein Arbeitstier“, erinnert sich seine Witwe Renee Hartmann. Abb.: Archiv R.H.

Anfänglich „kreativ kopiert“, dann mehr und mehr Eigenentwicklungen

Tatsächlich gelang es Hartmann relativ rasch, einen Teil des Rückstands, den die DDR in der noch jungen Schlüsseltechnologie bereits damals angehäuft hatte, wieder wett zu machen: Acht Jahre nach der Erfindung des „Integrated Circuit“ (IC) in den USA baute die AME ihre ersten Versuchs-Schaltkreise, lieferte zwei Jahre darauf die ersten Serien-Chips für die DDR-Volkswirtschaft, baute bald auch Taschenrechner-Chips und andere Mikroelektronik – teils bei der US-Konkurrenz abgekupfert, in zunehmenden Maße aber auch Eigenentwickelungen. Hartmann sei ein ausgesprochen vorausschauender und zielstrebiger Leiter, aber auch ein pragmatischer Problemlöser gewesen, erinnert sich sein Mitstreiter Dr. Hans Becker.

Hans Becker. Foto: Heiko Weckbrodt

Hans Becker. Foto: Heiko Weckbrodt

Diese Stringenz schlug sich in einem zunächst sehr dynamischen Wachstum des noch jungen ostdeutschen Mikroelektronik-Nukleus nieder: Aus der Arbeitsstelle mit ihren achtköpfigen Startkollektiv wuchs schließlich das „Zentrum Mikroelektronik Dresden“ (ZMD), das kurz vor der Wende rund 2000 Beschäftigte hatte.

Walter Ulbricht. Quelle: Stasimuseum Berlin, Repro.: hw/

Walter Ulbricht. Quelle: Stasimuseum Berlin, Repro.: hw

SED und Stasi sägten Vater der ostdeutschen Mikroelektronik 1974 ab

Das allerdings erlebte der Gründer nicht mehr: Schon 1974 wurde er abgesägt und an eine untergeordnete Position in Freiberg verbannt – 1988 starb der Vater der ostdeutschen Mikroelektronik, immer noch in Ungnaden. Die Hintergründe waren vielschichtig, hatten auch mit der veränderten politischen Großwetterlage im Ostblock und einem tiefen Misstrauen von SED-Granden und Stasi-Leuten gegenüber den von Walter Ulbricht zunächst so geschätzten „bürgerlichen Wissenschaftlern“ zu tun. Vor allem aber hatte Hartmann einen wichtigen Protektor verloren: Der Maschinenbauingenieur und spätere DDR-Wirtschaftslenker Erich Apel, der wie Ulbricht für einen ambitionierten Modernisierungskurs stand, wurde 1965 durch eine „innerparteiliche Fronde“ in die Enge getrieben und setzte seinem Leben ein Ende.

Rainer Karlsch. Foto: Heiko Weckbrodt

Rainer Karlsch. Foto: Heiko Weckbrodt

Sündenbock für wirtschaftspolitische Desaster

„Mit Apel verlor Hartmann einen wichtigen Förderer“, schätzt der Historiker Rainer Karlsch ein. Mit Apels Nachfolger Günter Mittag fand Hartmann keinen gemeinsamen Draht. Und als Ulbrichts Technologie-Offensive mehr und mehr in einem Desaster für die überforderte DDR-Wirtschaft mündete, suchten die Funktionäre Sündenböcke – und Hartmann wurde einer davon.

Übergabe des DDR-Megabit-Schaltkreises am 12. September 1988 an Erich Honecker. Auf der linken Tischseite sitzend, von links nach rechts: ZMD-Parteisekretärin Monika Krell, Carl-Zeiss-Jena-Generaldirektor Wolfgang Biermann, und Megabit-Projektleiter Bernd Junghans. Stehend daneben: Chefkonstrukteur Jens Knobloch, der den Schaltkreisentwurf für den Megabit-Chip im Maßstab 1:300 hält. Auf der rechten Seite von hinten nach vorn: DDR-Elektronik-Minister Felix Meier, SED-Chef Erich Honecker, SED-Wirtschaftssekretär Günter Mittag und Elektronik-Staatssekretär Karl Nendel. Foto: Klaus Franke, ADN, Bundesarchiv, Bild 183-1988-0912-400, Wikipedia, CC3-Lizenz (https://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/de/deed.de)

Das späte Erbe des Dresdner Mikroelektronik-Pioniers Werner Hartmanns: Vertreter des ZMD – der ehemaligen Arbeitsstelle für Molekularelektronik – übergeben hier im Bild am 12. September 1988 den DDR-Megabit-Schaltkreises an Erich Honecker. Auf der linken Tischseite sitzend, von links nach rechts: ZMD-Parteisekretärin Monika Krell, Carl-Zeiss-Jena-Generaldirektor Wolfgang Biermann und Megabit-Projektleiter Bernd Junghans. Stehend daneben: Chefkonstrukteur Jens Knobloch, der den Schaltkreisentwurf für den Megabit-Chip im Maßstab 1:300 hält. Auf der rechten Seite von hinten nach vorn: DDR-Elektronik-Minister Felix Meier, SED-Chef Erich Honecker, SED-Wirtschaftssekretär Günter Mittag und Elektronik-Staatssekretär Karl Nendel. Foto: Klaus Franke, ADN, Bundesarchiv, Bild 183-1988-0912-400, Wikipedia, CC3-Lizenz

Honecker stellte Mikroelektronik erst auf Sparflamme – um dann umso mehr aufzudrehen

Der neue Generalsekretär Erich Honecker (SED) kürzte Ulbrichts Modernisierungsprogramme zusammen, in der Mikroelektronik verlor die DDR danach erneut an Boden. Da allerdings bald auch die Exporterlöse einer wichtigen DDR-Devisenquelle – des Werkzeugmaschinenbaus – schrumpften, weil kaum noch ein Kunde Maschinen ohne moderne Computersteuerung haben wollte, setzte der nächste Schwenk ein: Ab 1977 entdeckte die Partei- und Staatsführung die Halbleiterindustrie wieder für sich und pumpte dann vor allem in den 1980ern viel Geld in Megabit-Chip, 32-Bit-Prozessor und andere ehrgeizige Aufholprojekte.

... und der Nachbau: der legendäre 32-Bit-Rechner K 1814 von robotron in den Technischen Sammlungen Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt

.32-Bit-Rechner K 1814 von Robotron in den Technischen Sammlungen Dresden. Foto: Heiko Weckbrodt

Insgesamt seien im zweiten Anlauf rund 30 Milliarden DDR-Mark und außerdem vier Milliarden Valutamark in das ostdeutsche Mikroelektronikprogramm geflossen, hat Karlsch errechnet. „Das war für ein kleines Land wie die DDR sehr viel Geld – und doch zu wenig“, meint der Historiker. Denn zu der Zeit investierte jeder einzelne der damals führenden japanischen Konzerne ähnlich viel in die Mikroelektronik. Während aber die Chipschmieden im Westen Globalisierung, internationale Arbeitsteilung und Spezialisierung nutzten konnten, stampfte die DDR mitsamt einer Chipindustrie in voller Breite auch noch eine fast komplette Ausrüstungsbranche für die Halbleiterwerke aus dem Boden. Zwar gelang es in dieser Zeit, den Rückstand zum internationalen Niveau wieder zu verkürzen. Doch die volkswirtschaftlichen Effekte der enormen Ausgaben blieben bis zuletzt begrenzt.

Währungsunion vernichtete über Nacht große Teile der DDR-Industrie

Die Währungsunion 1990 schickte dann der Mikroelektronik – ähnlich wie den meisten Industrien – in Ostdeutschland in den Tod auf Raten. „In der Nacht zum 1. Juli wurde mit der D-Mark-Einführung ein großer Teil des Kapitolstocks der DDR nahezu schlagartig vernichtet“, betont Karlsch. Die Vervielfachung der Löhne von einem Tag auf den anderen überlebten die meisten Betriebe und damit auch die Chipschmieden im Osten nur noch kurze Zeit: Von den Elektronikwerken in Frankfurt an der Oder und in Teltow beispielsweise blieben lediglich Rudimente. Und auch die Chipfabriken in Dresden und Erfurt würde es ohne staatliche Eingriffe wohl heute nicht mehr geben. Speziell in Sachsen ging die Regierung unter Kurt Biedenkopf (CDU) einen Sonderweg und rettete das ZMD durch direkte Staatsbeteiligungen. Dieser vom damaligen brandenburgischen Ministerpräsidenten Manfred Stolpe (SPD) als „Staatskapitalismus“ kritisierte Weg war angesichts der erheblichen ZMD-Verluste, die letztlich der Steuerzahler mehrere Jahre lang subventionierte, zwar umstritten.

Opteron-Prozessor für Server. Abb.: AMD

Hergestellt in Dresden: Der damalige Opteron-Prozessor für Server. Abb.: AMD

Doch nachträglich betrachtet war dies wohl eine weise Entscheidung: Die Dresdner Mikroelektronik-Expertise und das geschulte Personal aus DDR-Zeiten waren für Siemens und AMD – neben den erheblichen Subventionen – mitausschlaggebende Gründe, nach der Wende große Chipwerke in der sächsischen Landeshauptstadt zu errichten. Danach ging es zunächst nur noch aufwärts: Die Konzerne investierten nach, neue Akteure siedelten sich an, die direkten und indirekten Beschäftigungs- und Wertschöpfungseffekte waren erheblich.

Blick in den Reinraum der Dresdner Fabrik von X-Fab. Foto: X-Fab

Blick in den Reinraum der Dresdner Fabrik von X-Fab. Foto: X-Fab

Noch 2007 kam ein wichtiger Erfolg hinzu: Der Auftragsfertiger „X-Fab“ – hervorgegangen aus dem ehemaligen Kombinat Mikroelektronik Erfurt – übernahm die frühere ZMD-Fabrik in Dresden.

Chipkrise forderte prominentes Opfer

Doch danach trafen die internationale Chipkrise und die heraufziehende Weltwirtschaftskrise den Halbleiter-Standort Sachsen schwer. Das prominenteste Opfer wurde der Speicherchip-Produzent Qimonda. Zudem zog sich AMD schrittweise aus Dresden zurück und gliederte sein Dresdner Werk an die eigens dafür gegründete Tochter „Globalfoundries“ ab. Die weitere Zukunft als Auftragsfertiger erschien lange Zeit unsicher.

Karlsch: Standort ist heute viel krisensicherer

Aber schon diese Krise überstand das „Silicon Saxony“, wie sich die Mikroelektronik-Region Dresden-Freiberg-Chemnitz inzwischen nannte – besser als die Rückschläge in der Honecker-Ära. Im Nachhinein betrachtet seien die Krisenjahre 2007 bis 2009 wohl eher „Wachstumsschmerzen“ gewesen, meint Karlsch. Dem Standort sei trotz der schwierigen Anfänge 1961, den Kürzungen der frühen Honecker-Ära und der harten Transformation ab 1990 immer wieder ein Wiederaufstieg gelungen. Und: „Das ist eine der erstaunlichsten Erfolgsgeschichten der Wiedervereinigung“, meint der Historiker. Inzwischen habe die Dresdner Mikroelektronik ein Gewicht erlangt, das sie bestimmt auch künftige Krisen überstehen werde.

Oliver Schenk ist Chef der sächsischen Staatskanzlei im Ministerrang. Foto: Pawel Sosnowski für die SKK

Oliver Schenk ist Chef der sächsischen Staatskanzlei im Ministerrang. Foto: Pawel Sosnowski für die SKK

Durch Chipkrise ist Schlüsselrolle der Mikroelektronik in die Vorstandsetagen durchgesickert

Und diese krisenfeste Basis wollen die Sachsen derzeit noch einmal deutlich verbreitern: Heute sei Dresden zwar bereits „das größte und in vieler Hinsicht auch innovativste Halbleiter-Cluster in Europa“, argumentiert der sächsische Staatskanzlei-Chef Oliver Schenk. Doch gerade in einer Zeit durch Corona und Handelskriege gestörter Lieferketten gewinne in der globalen Mikroelektronik das Konzept des „Selbermachens“ wieder eine größere Bedeutung. Sprich: Die EU, vor allem aber Deutschland speziell Sachsen bemühen sich verstärkt darum, Europas sinkenden Eigenanteil an der weltweiten Halbleiterproduktion wieder zu erhöhen. Den letzten Ausschlag gab dafür der aktuelle Chip-Nachschubmangel, der die Fließbänder in zahlreichen Autofabriken, aber auch in anderen Industriebetrieben zum Erliegen gebracht hat. Das sei zwar unerfreulich, habe aber auch etwas Gutes, meint Berthold Hellenthal von der VW-Software-Tochter „Cariad“: „Durch den Halbleitermangel ist die besondere Bedeutung der Mikroelektronik in den Vorständen angekommen.“ Derzeit gebe es kaum eine Vorstandssitzung, in der das Problem kein Thema sei.

Inzwischen feilschen die Politiker um die nächste Großansiedlung

Diese Sichtweise teilen inzwischen auch weit mehr Wirtschaftspolitiker als früher. Und so macht auch Schenk kaum ein Geheimnis daraus, dass sich EU, Bund und Freistaat bei Unternehmen aus den USA, Südkorea und Taiwan nun verstärkt um Ansiedlungen bemühen. Was konkret damit gemeint ist, war bereits an anderer Stelle durchgesickert: Die Politiker feilschen hinter verschlossenen Türen mit den Bossen von Intel, Samsung und TSMC um den Bau einer oder mehrere Chipfabriken der Zehn-Milliarden-Dollar-Klasse in Sachsen. Branchenkenner wie Gerd Teepe, der jahrelang für große Halbleiterkonzerne wie AMD. Motorola, NEC und Globalfoundries tätig war, sind überzeugt: Das würde dem „Silicon Saxony“ noch einmal einen erheblichen Wachstumsschub verpassen – und das Erbe von Werner Hartmann zukunftssicher härten.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: Symposium „60 Jahre Mikroelektronik in Dresden“, Vorträge Becker, Karlsch, Schenk sowie Oiger-Archiv

Zum Weiterlesen:

Werner Hartmann: Vom Pionier zum Paria

Special: 50 Jahre Mikroelektronik in Dresden