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Masken aus Dresden für Chips statt gegen Corona

Das AMTC Dresden ist auf Chipmasken spezialisiert. Foto: AMTC

Das AMTC Dresden ist auf Chipmasken spezialisiert. Foto: AMTC

AMTC hat sich seit 2002 zum führenden Entwickler von Belichtungsvorlagen für Mikroelektronik entwickelt.

Dresden, 4. Mai 2020. Das Dresdner Chipmaskenzentrum AMTC ist 18 Jahre nach seiner Gründung eines der erfolgreichsten Gemeinschaftsunternehmen in der Halbleiterindustrie. Das meint Manager Adrian Phillips vom Technologiekonzern Toppans, der gemeinsam mit den Chiphersteller „Globalfoundries“ das Advanced Mask Technology Center (AMTC) betreibt.

„Europas größte und fortschrittlichste Maskenanlage“

„Das AMTC ist Europas größte und fortschrittlichste Maskenanlage“, betonte Adrian Phillips. Das Dresdner Zentrum entwickele und produziere für Kunden weltweit moderne Belichtungsmasken für Chips der Stukturgenerationen zwischen 180 und zwölf Nanometer. Inzwischen haben die Dresdner auch Belichtungsvorlagen für neueste Halbleiter, die mit Strahlen im extremen Ultraviolett-Bereich formatiert werden.

AMTC-Chef Thomas Schmidt. Foto: Globalfoundries Dresden

AMTC-Chef Thomas Schmidt. Foto: Globalfoundries Dresden

Chef: AMTC ist ein Hidden Champion

AMTC-Chef Thomas Schmidt sieht hier eine sächsische Erfolgsgeschichte rund um einen in der Öffentlichkeit wenig bekannten Technologieführer: „Wir können mit Stolz sagen, dass wir einer der vielbeschworenen Hidden Champions in Deutschland und Europa sind, die ein entscheidendes Element für die Herstellung von Mikroelektronik erst ermöglicht.“

Ursprünglich ein Kooperationsprojekt von AMD, Infineon und DuPont

Das AMTC entstand ursprünglich 2002 als „Joint Venture“, also als Gemeinschaftsunternehmen, des US-Prozessorkonzerns AMD, des deutschen Chipkonzerns Infineon und des Maskenlieferanten „DuPont Photomasks“. Am 1. April 2010 übernahmen dann Globalfoundries und Toppan Photomasks, Inc. (TPI) offiziell das AMTC. Seitdem haben die beiden Partner laut eigenen Angaben noch einmal rund 300 Millionen Euro in das Zentrum investiert, dessen Kapazitäten und die Belegschaftsstärke auf rund 300 Mitarbeiter verdoppelt. Und weitere Jobs sind geplant. Derzeit sucht das Gemeinschaftsunternehmen neue Facharbeiter und Ingenieure.

AMTC-Chipmaske. Foto: Globalfoundries Dresden Foto: Globalfoundries Dresden

AMTC-Chipmaske. Foto: Globalfoundries Dresden Foto: Globalfoundries Dresden

Was sind Chipmasken?

Belichtungsmasken sind Schlüssel-Komponenten in der Halbleiterproduktion: Sind die Chips am Computer entworfen, übertragen die Ingenieure das Design verkleinert auf Masken. Diese Vorlagen arretieren Arbeiter dann in den Chipfabriken über die Siliziumscheiben, die mit lichtempfindlichen Lack beschichtet sind. Fällt dann Strahlung durch die Masken, werden die Stellen markiert, an denen später durch Ionenbeschuss die Leiterbahnen, Transistoren und anderen Bauelemente entstehen sollen.

Autor: Heiko Weckbrodt

Quellen: AMTC, Globalfoundries, Oiger-Archiv