Bilder

EUV-Schaubild

Funktionsschaubild einer EUV-Lithografie-Anlage, in der Röntgenlicht auf den Wafer gelenkt wird. Abb.: Fraunhofer IWS

Funktionsschaubild einer EUV-Lithografie-Anlage, in der Röntgenlicht auf den Wafer gelenkt wird. Abb.: Fraunhofer IWS

Schreibe einen Kommentar

Deine E-Mail-Adresse wird nicht veröffentlicht.