Abb.: Tokyo Electron
Dresdner Niederlassung beliefert seit 1995 hiesige Chipfabriken mit Hightech-Ausrüstungen
Tokyo/Dresden. Seit 16 Jahren ist „Tokyo Electron“ (TEL) bereits mit einer eigenen Niederlassung im „Silicon Saxony“ vertreten, beschäftigt hier mittlerweile 83 Mitarbeiter. Doch was zieht einen japanischen Chipwerk-Ausrüster mit umgerechnet sechs Milliarden Euro Jahresumsatz eigentlich nach Dresden? Die Antwort liegt nahe: Das Unternehmen ist dorthin gegangen, wo die Großen der Chipbranche investieren.
„Alle Chiphersteller weltweit sind Kunden von TEL. Unsere Hauptkunden in Dresden sind Globalfoundries, Infineon und X-Fab“, erklärt Markus Leichtenstern von TEL Europa. „Wir haben unsere Vertretung 1995 hier gegründet, um unseren Kunden den besten und schnellen Service zu bieten.“ In den vergangenen eineinhalb Jahren habe das Unternehmen den Personalstamm in Dresden kontinuierlich verstärkt, um mit den Wünschen der ausbaufreudigen Mikroelektronikfabriken vor Ort Schritt zu halten.
Denn TEL verkauft und installiert wichtige Ausrüstungen, die für die Kernschritte der Halbleiterproduktion unbedingt benötigt werden: Lithografie-Maschinen zum Beispiel, die Siliziumscheiben (Wafer) mit Fotolack beschichten und nach dem Belichtungsschritt entwickeln, so dass eine Art Grundriss der gewünschten Leiterbahnen und Transistoren entsteht, auch Plasma-Ätzanlagen, in denen hochreaktive Verbindungen diese „vorgezeichneten“ Chipstrukturen freigelegen, chemische Gasphasenabscheider (sogenannte CVDs), die die Bauelemente beschichten, Testgeräte sowie Wafer-Reiniger und Oxidationsöfen.
Das Mutterunternehmen wurde, wie es der Name schon vermuten lässt, 1963 in der japanischen Hauptstadt gegründet, also etwa zur gleichen Zeit, als auch in Dresden die „Molekularelektronik“ ihre ersten zaghaften Schritte machte. Heute gehört die Firma zu den führenden Anbietern von Maschinen für die Halbleiterindustrie und beschäftigt weltweit rund 10 500 Mitarbeiter. Die Chipkrise 2008/2009 traf auch TEL spürbar, der Umsatz halbierte sich etwa. Im vergangenen Jahr aber profitierte das Unternehmen vom wiederbelebten Markt – und legte um fast 60 Prozent zu. Der größte Markt für TEL ist übrigens Japan selbst mit 27,2 Prozent Umsatzanteil, dicht gefolgt von Taiwan (25,3 Prozent). Europa gehört mit 4,3 Prozent Absatzanteil zu den kleineren Zielmärkten. Heiko Weckbrodt
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