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Intelligente Flüssigkeiten sollen Dreck besser und ökologischer schrubben als klassische Reinigungsmittel. Abb.: Bubbles & Beyond

Sachsen wollen Chips mit schlauen Flüssigkeiten schrubben

Verbundforschungsprojekt Dresden-Leipzig startet Dresden/Leipzig, 24. April 2014: Leipziger Ingenieure und Dresdner Fraunhofer-Forscher wollen „intelligente Flüssigkeiten“ einsetzen, um Chip-Scheiben (Wafer) in Halbleiterfabriken künftig sorgfältiger und umweltschonender zu säubern. Der Projektansatz: Mikroskopisch kleine Blasen werden über die schmutzigen Wafer-Oberflächen geschickt, die durch Vibrationen den Dreck ablösen – spült man diese „Intelligent Fluids“ mit Wasser, zerfallen sie – anders als scharfe Ätzbäder – in ökologisch unbedenkliche Bestandteile.