Forschung

Expertenkonferenz in Dresden über Messgrenzen in Nanoelektronik

Mit Spezialmikroskopen ähnlich diesem wollen die Dresdner Nanoanalytiker tief in die atomare Welt eindringen. Foto: Carl Zeiss

Mit Spezialmikroskopen ähnlich diesem wollen die Dresdner Nanoanalytiker tief in die atomare Welt eindringen. Foto: Carl Zeiss

Nobelpreisträger Klaus von Klitzing spricht auf Tagung

Dresden, 8. April 2015: Auch wenn man es auf den ersten Blick kaum glauben mag: Physik und die Smartphones in unser aller Taschen hängen eng miteinander zusammen. Denn um die praktischen Computertelefone mit jeder neuen Generation mit immer mehr Funktionen, Speicher und Rechenkraft zu versehen, versuchen Forscher und Ingenieure, die physikalischen Grenzen der Mikroelektronik immer weiter hinauszuschieben. Inzwischen messen die kleinsten Strukturen im Computerchips nur noch 14 Nanometer (nm = Millionstel Millimeter) und sie noch weiter zu miniaturisieren, fällt der Industrie immer schwerer.

Klaus von Klitzing. Foto: NIST

Klaus von Klitzing. Foto: NIST

Rund 125 Forscher, Industrie- und Regierungsvertreter wollen sich daher ab Montag auf einer internationalen Konferenz in Dresden über diese Mess- und Analysegrenzen für moderne Nanoelektronik austauschen. Erwartet wird als Referent auch der deutsche Physik-Nobelpreisträger Klaus von Klitzing, der in Dresden über Kunst des Messens (Metrologie) in dieser Nanowelt reden wird.

Intel, Globalfoundries und andere an Bord

Vertreten sind auf der “International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology” (14. bis 16. April 2015 im Hotel „Hilton“ in Dresden) Experten aus aller Welt, vor allem aber aus den USA und aus Europa. Zu den Rednern gehören neben Klaus von Klitzing Abgesandte von Intel und Globalfoundries, aus Dresden werden beispielsweise Prof. Hubert Lakner, der Direktor des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme (IPMS) und Konferenz-Mitorganisator Prof. Ehrenfried Zschech referieren.

Metrologen vernetzen sich rings um Nanoanalyse-Labor an TU Dresden

Prof. Ehrenfried Zschech. Foto: TUD

Prof. Ehrenfried Zschech. Foto: TUD

Letzterer leitet in Dresden ein noch junges Zentrum für Nanoanalyse (DCN), das wiederum zum Exzellenzzentrum für fortgeschrittene Elektronik „cfaed“ der TU Dresden gehört. Dieses Nanoanalyse-Labor ist mit modernsten Mikroskopen und anderen bildgebenden und metrologischen Techniken ausgestattet, um den Weg zur Nanoelektronik der Zukunft zu ebnen.

Um das DCN herum hat sich inzwischen ein ganzes Netzwerk „Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis“ (DFCNA) von Forschern der TU, der Fraunhofergesellschaft und weiterer Institute gebildet. Das Cluster soll die Expertise der Nano-Messexperten bündeln und die sächsische Chipindustrie bei der Entwicklung neuer Fertigungstechniken auf der metrologischen Seite unterstützen. Autor: Heiko Weckbrodt