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Fraunhofer führt 3D-Chipforschung im Dresdner ASSID fort

Gelbes Licht für tageslichtscheue 3D-Chips: Blick in die Lithografie des ASSID-Reinraums in Dresden. Abb.: hw

Blick in die Lithografie des ASSID-Reinraums in Dresden. Abb.: hw

Nun Regelfinanzierung durch Bund und Land

Dresden, 29. November 2013: Das Dresdner Fraunhofer-Forschungszentrum für 3D-Chipintegration „ASSID“ hat eine wichtige Hürde auf dem Weg zu einem regulären Institut genommen: Die Fraunhofer-Gesellschaft (FHG) hat heute beschlossen, das ASSID fortgeführen und in die Regelfinanzierung von Bund und Land zu überführen. Das teilte das sächsische Wissenschaftsministerium mit. „Die Entscheidung ist ein gutes Signal für den Mikroelektronik-Standort Sachen“, begrüßte Wissenschaftsministerin Sabine von Schorlemer (parteilos) die Entscheidung.

Spezialisiert auf 3D-Chipintegration

Fraunhofer hatte das „All Silicon System Integration Dresden“ (ASSID) im Jahr 2009 in der ehemaligen Chipmontage-Entwicklungsfabrik von Qimonda am Stadtrand zwischen Dresden und Boxdorf gegründet- nicht weit von den Globalfoundries-Chipfabriken. Das ASSID hat sich auf 3D-Chipintegration – unter anderem durch vertikale Kontaktierung (TSV-Technologie) – und neue Endmontage-Techniken (Backend) spezialisiert. Es hat 33 Mitarbeiter und war zunächst auf Probe als Außenstelle des Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) Berlin organisiert worden. Nach Einschätzung der FHG konnte sich das Zentrum in der „3D-Systemintegration sehr gut technologisch positionieren“ – daher endet nun die Probezeit.

300-mm-Forschungskapazitäten wegen Schlüsselrolle erhalten

Das Land Sachsen und die Dresdner Mikroelektronik-Industrie hatten nach der Qimonda-Pleite einige Mühe darauf verwandt, Qimonda-nahe Forschungsabteilungen zu halten: Dazu gehört neben dem ASSID, das sich auf Backend- und 3D-Prozesse auf 300-Millimeter-Wafern konzentrierte, auch das Nanoelektronik-Zentrum CNT, das sich – ebenfalls auf 300 mm und ebenfalls in FHG-Regie – auf Frontend-Prozesse spezialisierte, inzwischen allerdings mangels ausreichender Kundenbasis umstrukturiert und heruntergestuft wurde. Autor: Heiko Weckbrodt

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