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Dresdner Chipforschung am Staats-Tropf

Im Dresdner Namlab stehen den Nanoelektronik-Forschern moderne Reinräume zur Verfügung. Foto: Namlab

Im Dresdner Namlab stehen den Nanoelektronik-Forschern moderne Reinräume zur Verfügung. Foto: Namlab

Institute Namlab und CNT haben sich nach Qimonda-Schock neu orientiert

Dresden, 2.Juni 2013: Die Qimonda-Pleite vor vier Jahren hatte nicht nur Kunden und Zulieferer, sondern auch mit dem Namlab und dem CNT zwei hochmodern ausgestattete Dresdner Forschungsinstitute in eine existenzielle Krise gestürzt. Seitdem wurden sie auch mit millionenschweren Förderströmen von Staat am Leben erhalten – inzwischen haben sie sich neu ausgerichtet.

Insgesamt haben die Dresdner Mikroelektronik-Forschungszentren „CNT“ und „Namlab“ seit der Qimonda-Pleite 2009 rund 29,4 Millionen Euro staatliche Projekt-Fördergelder erhalten. Zu diesen Programmen von Land, Bund und EU steuerten Wirtschaftspartner weitere 18 Millionen Euro bei. Das geht aus einer Antwort der sächsischen Wissenschaftsministerin Sabine von Schorlemer (parteilos) auf eine Anfrage des Chemnitzer FDP-Landtagsabgeordneten Andreas Schmalfuß hervor.

Das "Namlab" an der Nöthnitzer Straße im Dresdner Süden forscht an neuartiger Elektronik. Foto: Heiko  Weckbrodt

Das „Namlab“ an der Nöthnitzer Straße im Dresdner Süden forscht an neuartiger Elektronik. Foto: Heiko Weckbrodt

Die Angaben sind von gewisser Brisanz, da beide Forschungseinrichtungen in ihrer ursprünglichen Konzeption nicht dauerhaft funktioniert haben. Denn das „Nano-electronic Materials Labatory“ an der Nöthnitzer Straße zum Beispiel wurde 2006 als öffentlich-private Partnerschaft durch den damaligen Speicherchip-Hersteller und der TU Dresden gegründet. Auf 300 Quadratmeter Reinraumfläche wollte Qimonda die Vorlaufforschung an neuen Elektronikmaterialien vorantreiben.

Elektronikriesen forschen mit – aber eher auf Sparflamme

Nach der Insolvenz des Industriepartners musste die TU das Namlab allein finanzieren. Hier lassen seitdem inzwischen wieder Branchengrößen wie Globalfoundries und Samsung und auch kleinere Unternehmen wie die Freiberger Firma FCM, Azzurro Dresden oder MicroSystems forschen – das Vertragsvolumen dieser Auftragsforschung lag zwischen 2009 und 2012 aber bei gerade einmal 876.000 Euro. Zudem realisierte das Labor keine Ausgründungen und nur wenige Patentanmeldungen.

Prof. Thomas_Mikolajick ("Cool Silicon", NamLab). Abb.: hw

Prof. Thomas_Mikolajick Abb.: hw

Namlab-Chef Prof. Thomas Mikolajick warnte indes davor, Forschung nur nach Zahlen zu bemessen. „Bei nahezu allen unseren öffentlich geförderten Projekten sind Industriepartner involviert, die diese Projekte mitfinanzieren müssen. Außerdem haben wir eine positive Tendenz bei unserer Auftragsforschung und prüfen derzeit zwei Ausgründungen“, betonte er.

Stromspar-Ferrospeicher in der Entwicklung

Und es gebe mehrere vielversprechende Projekte, die mittelfristig auch Chancen auf eine Produktionsreife haben. So entwickelt das Namlab gemeinsam mit der FCM und Azzurro die Fertigung von Leistungs-Halbleitern auf Galliumnitrid-Scheiben statt auf klassischen Silizium. Auch habe man ein Konzept, die noch beim früheren Anteilseigner Qimonda begonnen wurde, gemeinsam mit Globalfoundries weiterentwickelt: Dabei geht es um „merkfähige“ ferroelektrische Speicher, die im Vergleich zu heutigen Flash-Speichern, wie sie in vielen Kameras und Computertelefonen verwendet werden, bedeutend weniger Strom verbrauchen. Selbst für klassische Speicherchips, deren Erforschung das Namlab nach der Qimonda-Pleite bereits ganz aufgeben wollte, gebe es nun wieder Interesse asiatischer Konzerne an Kooperationen mit dem Dresdner Labor.

Eines der neuen Forschungsprojekte des Namlab: Silizium-Nanodrähte für Chips. Abb.: Namlab

Eines der neuen Forschungsprojekte des Namlab: Silizium-Nanodrähte für Chips. Abb.: Namlab

Mikolajick sieht das NamLab für die Zukunft nun wieder gut aufgestellt. Gerade mit seinen mit seinen neuen Bauelemente-Projekten rund um Galliumnitrid, ferroelektrische Speicher, Silizium-Nanodrähte und Kohlenstoff-Chips fülle es im Dresdner Raum eine Lücke zwischen Materialforschung und Schaltungstechnik.

Das Namlab ist als gemeinnützige GmbH organisiert, deren alleiniger Eigner seit der Qimonda-Pleite die TU Dresden ist. Von dem rund drei Millionen Euro umfassenden Jahresetat steuert das Land eine 20-prozentige Sockelfinanzierung (600.000 Euro) bei. Den großen Rest akquiriert das derzeit 40-köpfige NamLab über Forschungsprojekte von Bund. Land, EU und Industriepartnern.

CNT versüßte AMD & Co. das Dresden-Engagement

Auch das „Fraunhofer-Center für Nanoelektronische Technologien“ (CNT) wurde 2005 als privat-öffentliche Einrichtung von Fraunhofer-Gesellschaft (FHG) und den Chipherstellern Infineon und AMD gegründet, um diesen weitere Anreize zu schaffen, in modernste Chipfertigungstechnologien in Dresden zu investieren. „Die strategischen Industriepartner konnten wissenschaftlich-technische Schwerpunkte und Ausrichtung der Forschung mitbestimmen, im Gegenzug bestand eine Betriebskostendeckungszusage“, berichtet Schorlemer.

Schauen in eine ungewisse Zukunft: CNT-Mitarbeiter im Reinraum. Abb.: CNT

CNT-Mitarbeiter im Reinraum. Abb.: CNT

Als sich jedoch AMD aus der Prozessor-Fertigung und Infineon aus der Speicherproduktion – und damit den Hauptkompetenzen des CNT – zurückzogen, übernahmen zunächst Qimonda und Globalfoundries (GF) die Kofinanzierung. Qimonda ging indes 2009 pleite, GF ließ die Betriebskostenvereinbarung laut Schorlemer 2011 auslaufen.

Trotz weiterer Projektaufträge von GF und der genannten Projektförderungen des Staates geriet das Zentrum in der Folge immer mehr in Finanzierungsprobleme. Auch kam es zu keinerlei Ausgründungen aus dem CNT und lediglich neun Patentanmeldungen seit dem Qimonda-Zusammenbruch.

Notbremse gezogen

2012 zog die FHG die Notbremse, löste das CNT wegen unzureichender Erträge als selbstständige Einrichtung auf und gliederte es als Abteilung dem Dresdner Fraunhofer-Photonikinstitut IPMS an. Derzeit hat diese Abteilung 51 Angestellte und hat rund 40 Chipfertigungsanlagen auf 800 Quadratmetern in einem ehemaligen Qimonda-Reinraum. Dazu kommen 150 Quadratmeter Laborfläche. Die Auslastung des Zentrums habe sich jedoch seit der Neustrukturierung verbessert, teilte IPMS-Direktor Prof. Hubert Lakner. „Die Lage hat sich stabilisiert.“ Heiko Weckbrodt

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