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Globalfoundries und Toppan bauen Chipmaskenzentrum AMTC in Dresden aus

Blick in den Reinraum des Chipmasken-Entwicklungszentrums. Abb.: AMTC

Blick in den Reinraum des Chipmasken-Entwicklungszentrums. Abb.: AMTC

Dresden, 4. Dezember 2012: Der US-Auftragsfertiger „Globalfoundries“ (GF) und das amerikanische Technologie-Unternehmen „Toppan Photomasks“ wollen ihr Joint Venture, das Dresdner Chipmaskenzentrum „Advanced Mask Technology Center“ (AMTC) in Dresden, ausbauen. Geplant seien in den nächsten Jahren „größere Investitionen“ und eine Erweiterung der Belegschaft, kündigte das AMTC heute an. In diesem Zuge wollen GF und Toppan ihre Joint-Venture-Vereinbarung um weitere fünf Jahre verlängern. Nähere Details über die Ausbaupläne wollen die Partner in der kommenden Woche bekannt geben.

Entlassungswelle nach Qimonda-Pleite

Das AMTC entstand ab 2000 als gemeinsames Forschungszentrum des Chemieunternehmens DuPont und der Chiphersteller AMD und Infineon. Anstelle von DuPont stieg per Übernahme später Toppan ein, für Infineon dessen Speicherchip-Tochter Qimonda und den AMD-Anteil übernahm Globalfoundries. 2009 musste das Zentrum jedoch 50 seiner bis dahin 130 Mitarbeiter entlassen, nachdem Qimonda pleite ging.

EUV-Maske aus dem AMTC. Foto: AMTC

EUV-Maske aus dem AMTC. Foto: AMTC

Zentrum entwickelt auch EUV-Masken

Entwickelt werden im AMTC Belichtungsvorlagen (Photomasken) für die Chipherstellung. Zu den neueren Prestigeprojekten gehörte die Konstruktion von Masken für die neue Belichtungsmethode „Extremes Ultraviolett“ (EUV), die als Schlüsseltechnologie für die Halbleiter von übermorgen gilt.

Toppan betreibt nebenan auch eine Chipmasken-Fabrik, die unter anderem Globalfoundries Dresden und die Dresdner Fabrik der Erfurter „X-Fab“ beliefert. Heiko Weckbrodt

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