Geschichte, Wirtschaft
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Die Freiberg-Story: Der Stoff, aus dem Computer gemacht sind

Freiberg ist heute auch ein Zentrum der Solarindustrie - hier eine Solarworld-Mitarbeiterin bei der Klassifizierung von Zellen. Abb.: Solarworld

Freiberg ist heute auch ein Zentrum der Solarindustrie - hier eine Solarworld-Mitarbeiterin bei der Klassifizierung von Zellen. Abb.: Solarworld

Wo einst das „Berggeschrey“ erklang, dominieren heute die Halbleiter

Freiberg. Dort, wo einst das große „Berggeschrey“ ausbrach und nach einem Silberfund Bergleute aus dem ganzen Reich zusammenströmten, um das edle Metall dem Stein zu entreißen, ist heute einer der europaweit führenden Standorte für Halbleitermaterialien entstanden: Die Rede ist von Freiberg, der Bergstadt, der Siliziumstadt. Hier entwickelte vor der politischen Wende der VEB Spurenmetalle Technologien, um der rohstoffarmen DDR seltene Metalle und Halbleiter aus allen möglichen Ausgangsstoffen zu extrahieren, entwickelte sich ab den 60er Jahren eines der wichtigsten Zentren für Mikroelektronik-Silizium. Nach der Wende schien all dies den Bach herunterzugehen – und doch kam es ganz anders.

Berggeschrey: Ausschnitt vom Annaberger Bergaltar. Abb.: H. Hesse/Wikipedia

Berggeschrey: Ausschnitt vom Annaberger Bergaltar. Abb.: H. Hesse/Wikipedia

Den Weg zur Stadt der Materialtechnologien wurde durch die politische Teilung Deutschlands erzwungen: In Mittel- beziehungsweise Ostdeutschland waren zwar die Leichtindustrie, Gerätebau und viele technologieorientierte Firmen des früheren Reichs konzentriert, aber nur wenige Bodenschätze. Viele Wertschöpfungsketten wurden durch die politische Teilung gekappt. Zudem zogen die Sowjets in der Nachkriegszeit eher Rohstoffe und Anlagen aus ihrer Besatzungszone ab, statt neue Rohstofflinien von Ost nach West aufzubauen.

Recyclingtechnologien für die rohstoffarme DDR

Aus diesen Zwängen heraus entstand in Freiberg, rund 30 Kilometer südwestlich von Dresden, auch das „Forschungsinstitut für Nichteisenmetalle (FNE), aus dem 1957 der VEB Spurenmetalle Freiberg hervorging. Die Freiberger sollten für die DDR neue Recycling-und Anreicherungsprozesse entwickeln, um aus Misch- und Reststoffen wertvolle Ressourcen wie Titan, Germanium, Indium etc. zu extrahieren.

Elementares Germanium. Abb.: Saperaud/Wiki

Elementares Germanium. Abb.: Saperaud/Wiki

Vor allem Germanium gewann in der Arbeit rasch an Bedeutung: Ähnlich wie Silizium ist es ein Halbleiter und schien für die noch junge Transistorelektronik ideal, da es schnellere Schaltungen als Silizium erlaubte. In der zweiten Hälfte der 1960er Jahre machte dann zwar Silizium aus Kosten- und Prozessgründen das Rennen in der Mikroelektronik. Germanium ist aber bis heute ein begehrter Alternativ-Halbleiter für besonders leistungsfähige Chips, bei denen es auf den Preis nicht so ankommt – vor allem in Rüstungsgütern. Parallel dazu begann der VEB Spurenmetalle ab 1960, Siliziumscheiben für die kurz darauf gegründete „Arbeitsstelle für Molekularelektronik“ (AME) in Dresden zu entwickeln. Die ersten dieser „Wafer“ standen ab 1963 zur Verfügung.

VEB Spurenmetalle wuchs rasch

Da alle drei Linien – seltene Rohstoffe, Germanium und Silizium – für die DDR immer mehr an Bedeutung gewannen, wuchs auch der Freiberger VEB recht rasch: 1957 mit 35 Mitarbeitern gegründet, hatte „Spurenmetalle“ zehn Jahre später bereits über 500 Beschäftigte, bis zur Wende legte der Personalstamm auf rund 1800 Mitarbeiter zu. Auch die Forschungsausgaben stiegen rasant: Von 717.000 DDR-Mark zur Gründung auf 1,4 Millionen Mark 1959. Und beim Machtwechsel von Walter Ulbricht zu Erich Honecker waren es bereits 12,3 Millionen Mark.

Germanium-Schmelze in Freiberg. Im VEB Spurenmetalle wurden auch die Silizium-Wafer für die Chipindustrie der DDR und große Teile des Ostblocks produziert. Abb.: Siltronic-Archiv

Germanium-Schmelze in Freiberg. Im VEB Spurenmetalle wurden auch die Silizium-Wafer für die Chipindustrie der DDR und große Teile des Ostblocks produziert. Abb.: Siltronic-Archiv

Wegen des rasant steigenden Siliziumbedarfs der noch jungen ostdeutschen Elektronikindustrie baute auch der VEB Spurenmetalle seine Siliziumkristall-Zuchtanlagen massiv aus und zog Ende der 60er Jahre auch immer mehr Schritte der Wafer-Produktion ins Haus, zum Beispiel das Präzisions-Sägen der Siliziumkristalle in feine Scheiben und das Polieren.

Nachdem die SED-Spitze die Mikroelektronik 1976/77 für sich wiederentdeckt hatte und ganz besonders ab dem forcierten Ausbau der Chipproduktion und -entwicklung ab 1986 nahm der Siliziumbedarf jedoch stärker zu als die Freiberger Schritt halten können. Im Dezember 1986 unterbreiteten die Staatliche Plankommission und das Ministerium für Elektrotechnik dem Büro von SED-Wirtschaftssekretär Günter Mittag einen Vorschlag: In Freiberg werden die Produktionskapazitäten für Reinstsilizium von 87 Tonnen pro Jahr auf 120 Tonnen im Jahr 1989 erweitert. Um die 50 bis 150 Jahrestonnen zu fertigen, die zusätzlich benötigt werden, soll ein neues Reinstsiliziumwerk (RSW) im Dresdner Süden entstehen. Das Projekt stieß allerdings auf vehementen Widerstand von Anwohnern und Umweltschützern, da hochgefährliches Trichlorsilan über die engen und alten Straßen nach Dresden-Gittersee transportiert werden müsste. 1989 wurde das Projekt endgültig begraben – heute nutzt die Keksfabrik von „Dr. Quendt“ diese Investruine.

Die Wende stoppte aber auch den weiteren Ausbau in Freiberg: Die Siliziumwafer aus Sachsen, die eben noch in der DDR und im ganzen Ostblock reißenden Absatz fanden, hatten plötzlich keine Abnehmer mehr, die Anlagen waren im Vergleich zu westlichen Konkurrenz, der sich Freiberg nun stellen musste, veraltet.

Manfred Richter. Abb.: privat/Vom Silber...

Manfred Richter. Abb.: privat/Vom Silber...

Mitte 1990 wurde der „VEB Spurenmetalle“ in die „Freiberger Elektronikwerkstoffe Produktions- und Vertriebsgesellschaft mbH“ (FEW) umgewandelt und der Treuhandanstalt unterstellt. Der Chef war Manfred Richter, der seinerzeit das Projekt „RSW Dresden“ geleitet hatte.

Doch zunächst schlugen alle Versuche, ein Erfolg versprechendes Geschäftsmodell zu entwickeln, fehl: Testproduktionen für potenzielle Westkunden offenbarten die technologischen Mängel der Freiberger Wafer-Anlagen. Und Wacker hatte angesichts des darnieder liegenden Silizium-Weltmarkts kein Interesse an einer Übernahme der FEW.

Es war letztlich ein Zusammenspiel aus dem Engagement der Leute vor Ort und politischer Entscheidungsträger in Bonn und Dresden, durch das sich Schritt für Schritt schließlich doch drei Lösungen herausschälte – ein Konzept, dass wesentlich auf den früheren Wacker-Manager Werner Freiesleben zurückging, der 1993 in die FEW-Geschäftsleitung kam:

Freiberger Compound Materials: Gallium-Arsenid-Wafer
Blick in die Kristallzucht bei Freiberger Compound Materials. Abb.: FCM

Blick in die Kristallzucht bei Freiberger Compound Materials. Abb.: FCM

1. Als sich Wacker aus Kostengründen von seiner Gallium-Arsenid-Sparte trennen will, sieht das die Bundesregierung gar nicht gern: Die daraus gefertigten Chips sind für die westdeutsche Rüstungsindustrie wichtig und Bonn will sich da nicht in die Abhängigkeit ausländischer Anbieter begeben. So überredet der Bundesforschungsreferent Helmut Ennen Wacker (der spätere sächsische Wirtschaftsstaatssekretär), die Anlagen nach Freibergern zu verlagern, die Kosten dafür übernimmt die Treuhand. Letztlich übernimmt 1995 die israelische Federmann-Gruppe diese Sparte als „Freiberger Compound Materials GmbH“. Heute hat dieser Freiberger Betrieb rund 250 Mitarbeiter. Allein seit der Jahrtausendwende hat das Unternehmen über 100 Millionen Euro in die Freiberger Fabrik mit ihren 4000 Quadratmeter fassenden Reinraumflächen investiert.

Solarworld: Photovoltaik-Produktion
Inzwischen ein großer Campus: Solarworld Freiberg. Abb.: Solarworld

Inzwischen ein großer Campus: Solarworld Freiberg. Abb.: Solarworld

2. Eine zunächst ganz winzige Sparte der FEW wurde 1994 als „Bayer Solar Freiberg“ ausgegründet – mit ein paar Drahtsägen in einem Keller und 19 Beschäftigten. Doch die kleine Kellerbude nahm eine ganz überraschende Entwicklung: Die deutsche Hinwendung zu erneuerbaren Energien und die Photovoltaik-Einspeisegesetze von 1990 und 2000 sorgten für eine recht gute Nachfrage für die Solar-Siliziumscheiben aus Freiberg – bis Ende der 90er Jahre wuchs in der sächsischen „Bayer Solar“ die Belegschaft auf rund 100 Mitarbeiter.

Als sich der Mutterkonzern 2000 von seinem Solargeschäft trennte, schlug ein anderer Aufsteiger zu: Der Agraringenieur und frühere Grünenpolitiker Frank Asbeck, der 1998 in Bonn die Firma „Solarworld“ gegründet hatte, kaufte für über 100 Millionen Euro die Freiberger Solarwafer-Fabrik.

Produktionsvideo von Solarworld

In den Folgejahren baute Asbeck die Freiberger Fabrik zum europaweit führenden Photovoltaik-Standort aus und fügte vor allem immer mehr Glieder der Wertschöpfungskette an. Heute werden bei Solarworld Freiberg längst nicht mehr nur Wafer gefertigt, sondern auch Solarzellen und -module produziert, alte Photovoltaikanlagen recycelt, um wieder Silizium daraus zu gewinnen und dergleichen mehr. Heute beschäftigt Solarworld in Freiberg insgesamt rund 1800 Mitarbeiter, darunter ein Großteil in der Waferfertigung, außerdem weitere Mitarbeiter in der Solarzellen-Produktion, im Photovoltaik-Module-Werk, in der Silizium-Gewinnung) und in der Entwicklung.

Siltronic: Siliziumscheiben für die Chipindustrie
Ein Siltronic-Mitarbeiter kontrolliert einen Siliciumeinkristall. Abb.: Siltronic

Ein Siltronic-Mitarbeiter kontrolliert einen Siliciumeinkristall. Abb.: Siltronic

3. Was zuletzt vor der Wende das Hauptstandbein im VEB Spurenmetalle gewesen war, die Mikroelektronik-Wafer-Fertigung, ging 1995/96 mit 280 Mitarbeitern an „Wacker Siltronic“ über. Dieses Unternehmen – das ab 2004 nur noch als „Siltronic“ firmierte – investierte seitdem über 800 Millionen Euro in die Erneuerung und den Ausbau des Standortes Freiberg. Heute ist die sächsische Fabrik einer der größten und modernsten Anbieter vorbehandelter 300-Millimeter-Scheiben weltweit und beliefert führende Chipkonzerne wie Samsung, Intel, ST Micro und Infineon. Mittlerweile hat sich der Personalstamm dort auf über 1100 Mitarbeiter etwa vervierfacht.

Bis heute über 7800 Jobs direkt und indirekt aus „Spurenmetalle“-Resten entstanden

Aus den Resten des VEB Spurenmetalle sind also bis heute unmittelbar drei Unternehmen mit unterschiedlichen Geschäftsfeldern und über 3100 Beschäftigten in Summe hervorgegangen. Damit beschäftigt allein dieses „Nachfolge-Trio“ schon mehr Menschen als der einstige VEB mit seinen zuletzt etwa 1800 Mitarbeitern – eine in Ostdeutschland, wo aus den einstigen Großkombinaten meist nur kleine Firmen hervorgingen, eher seltene Bilanz. Schätzungsweise weitere rund 4700 Jobs dürften im Großraum Freiberg noch mal indirekt an diesen Werken hängen, durch Zulieferer und Kunden.

Auch die strukturellen Wirkungen sind wichtig: Sieht man Freiberg und Dresden im Gespann, hat Sachsen einen Großteil der Mikroelektronik-Wertschöpfungskette (allerdings ohne nennenswerte Endprodukte-Fertigung) in seinen Landesgrenzen behalten und dies sorgt erfahrungsgemäß für Kaskadeneffekte.

Und insbesondere die zwei Säulen „Mikroelektronik“ und „Solar“ haben bereits einmal antizyklisch gewirkt: Als im Zuge der Chipkrise 2008/2009 über 3000 Mitarbeiter von Qimonda Dresden ihre Jobs verloren, kamen viele dieser Chipwerker (wenn auch meist zu geringeren Löhnen) bei Photovoltaik-Firmen unter. Und als danach die Solarindustrie zu schwächeln begann, hielt sich Solarworld (bisher) in Freiberg wie ein Fels in der Brandung – nach Einschätzung vieler Branchenbeobachter vor allem durch seine gewachsene Größe. Aber auch durch Asbecks Kurs, in Sachsen möglichst viele Schritte der Photovoltaik-Kette an einem Standort zu konzentrieren. Dies hilft einerseits, Kosten zu sparen, überbrückt aber auch teilsektorale Nachfrageschwächen. Heiko Weckbrodt

Quellen: Bundesarchiv/SAPMO, Interviews, „Vom Silber vom Silizium“, Freiberg 2007; „Silicon Saxony – Die Story“, Dresden 2006

Zum Weiterlesen: Siltronic: Reinheitsgebot in der Scheibenwelt

Zum Weiterlesen: Projekt „Reinstsiliziumwerk Dresden“

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